Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 13 стр.

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ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɫɨɡɞɚɟɬɫɹ ɬɨɧɤɢɦɢ ɬɪɭɛɤɚɦɢ, ɩɨɫɥɟɞɨɜɚɬɟɥɶɧɨ ɫɨɟɞɢɧɹɸɳɢ-
ɦɢ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɢ ɪɚɡɥɢɱɧɵɯ ɫɬɭɩɟɧɟɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɧɚɱɢɧɚɹ ɫɨ ɫɬɭɩɟɧɢ, ɪɚɛɨ-
ɬɚɸɳɟɣ ɩɪɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɦ ɞɚɜɥɟɧɢɢ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ. ȼ ɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɨɣ
ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɬɭ ɠɟ ɪɨɥɶ ɜɵɩɨɥɧɹɟɬ ɡɚɡɨɪ ɦɟɠɞɭ ɰɢɥɢɧɞɪɨɦ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɚ ɢ
ɨɫɧɨɜɚɧɢɟɦ ɧɚɫɨɫɚ.
Ɋɢɫ. 8. Ɏɪɚɤɰɢɨɧɢɪɭɸɳɢɟ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ:
ɚɫɬɟɤɥɹɧɧɵɣ, ɛɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɢɣ
Ɉɞɧɚɤɨ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɹ, ɩɪɢɜɟɞɟɧɧɚɹ ɧɚ ɪɢɫ. 8ɛ, ɧɟ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬ ɞɨɫɬɚ-
ɬɨɱɧɨɣ ɫɬɟɩɟɧɢ ɮɪɚɤɰɢɨɧɢɪɨɜɚɧɢɹ ɦɚɫɥɚ. Ⱦɥɹ ɭɥɭɱɲɟɧɢɹ ɷɬɨɣ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢ-
ɫɬɢɤɢ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬ ɥɚɛɢɪɢɧɬɧɵɟ ɤɨɥɶɰɚ ɢɥɢ (ɱɬɨ ɥɭɱɲɟ) ɜ ɞɧɢɳɟ ɤɨɪɩɭɫɚ
ɜɵɬɚɱɢɜɚɸɬ ɥɚɛɢɪɢɧɬɧɵɟ ɤɚɧɚɥɵ, ɤɚɤ ɷɬɨ ɫɞɟɥɚɧɨ ɜ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭɭɦ-
ɧɨɦ ɧɚɫɨɫɟ ɇ-5ɋɆ. Ʌɚɛɢɪɢɧɬɧɵɟ ɤɚɧɚɥɵ ɭɞɥɢɧɹɸɬ ɩɭɬɶ ɦɚɫɥɚ, ɫɬɟɤɚɸɳɟ-
ɝɨ ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ ɩɨ ɫɬɟɧɤɟ ɤɨɪɩɭɫɚ, ɫ ɩɟɪɢɮɟɪɢɢ ɞɨ ɟɝɨ ɩɨɫɬɭɩɥɟɧɢɹ ɜ
ɰɟɧɬɪɚɥɶɧɭɸ ɡɨɧɭ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ. ȼ ɷɬɨɦ ɫɥɭɱɚɟ ɥɟɝɤɢɟ ɮɪɚɤɰɢɢ ɦɚɫɥɚ ɭɫ-
ɩɟɜɚɸɬ ɢɫɩɚɪɢɬɶɫɹ ɧɚ ɩɟɪɢɮɟɪɢɢ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ, ɨɬɤɭɞɚ ɨɧɢ ɩɨɫɬɭɩɚɸɬ ɜ
ɧɢɠɧɢɟ ɢ ɷɠɟɤɬɨɪɧɵɟ ɫɨɩɥɚ ɧɚɫɨɫɚ. Ȼɨɥɟɟ ɬɹɠɟɥɵɟ ɮɪɚɤɰɢɢ ɞɨɛɢɪɚɸɬɫɹ
ɞɨ ɰɟɧɬɪɚɥɶɧɨɣ ɡɨɧɵ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ ɢ ɩɢɬɚɸɬ ɩɚɪɨɦ ɜɟɪɯɧɟɟ ɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭ-
ɭɦɧɨɟ ɫɨɩɥɨ.
Ɍɚɤ ɤɚɤ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɛɭɫɥɨɜɥɟɧɨ ɨɛ-
ɪɚɬɧɵɦ ɩɨɬɨɤɨɦ ɩɚɪɨɜ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢɡ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɨɛɴ-
ɟɤɬ, ɟɝɨ ɦɨɠɧɨ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨ ɭɦɟɧɶɲɢɬɶ, ɟɫɥɢ ɧɚ ɩɭɬɢ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɭɫ-
ɬɚɧɨɜɢɬɶ ɥɨɜɭɲɤɢ.
ɉɨ ɩɪɢɧɰɢɩɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɥɨɜɭɲɤɢ ɦɨɠɧɨ ɪɚɡɞɟɥɢɬɶ ɧɚ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɟ,
ɞɢɫɫɨɰɢɢɪɭɸɳɢɟ ɢ ɫɨɪɛɢɪɭɸɳɢɟ.
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ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɫɨɡɞɚɟɬɫɹ ɬɨɧɤɢɦɢ ɬɪɭɛɤɚɦɢ, ɩɨɫɥɟɞɨɜɚɬɟɥɶɧɨ ɫɨɟɞɢɧɹɸɳɢ-
ɦɢ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɢ ɪɚɡɥɢɱɧɵɯ ɫɬɭɩɟɧɟɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɧɚɱɢɧɚɹ ɫɨ ɫɬɭɩɟɧɢ, ɪɚɛɨ-
ɬɚɸɳɟɣ ɩɪɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɦ ɞɚɜɥɟɧɢɢ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ. ȼ ɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɨɣ
ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɬɭ ɠɟ ɪɨɥɶ ɜɵɩɨɥɧɹɟɬ ɡɚɡɨɪ ɦɟɠɞɭ ɰɢɥɢɧɞɪɨɦ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɚ ɢ
ɨɫɧɨɜɚɧɢɟɦ ɧɚɫɨɫɚ.




             Ɋɢɫ. 8. Ɏɪɚɤɰɢɨɧɢɪɭɸɳɢɟ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ:
                     ɚ – ɫɬɟɤɥɹɧɧɵɣ, ɛ – ɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɢɣ

     Ɉɞɧɚɤɨ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɹ, ɩɪɢɜɟɞɟɧɧɚɹ ɧɚ ɪɢɫ. 8ɛ, ɧɟ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬ ɞɨɫɬɚ-
ɬɨɱɧɨɣ ɫɬɟɩɟɧɢ ɮɪɚɤɰɢɨɧɢɪɨɜɚɧɢɹ ɦɚɫɥɚ. Ⱦɥɹ ɭɥɭɱɲɟɧɢɹ ɷɬɨɣ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢ-
ɫɬɢɤɢ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬ ɥɚɛɢɪɢɧɬɧɵɟ ɤɨɥɶɰɚ ɢɥɢ (ɱɬɨ ɥɭɱɲɟ) ɜ ɞɧɢɳɟ ɤɨɪɩɭɫɚ
ɜɵɬɚɱɢɜɚɸɬ ɥɚɛɢɪɢɧɬɧɵɟ ɤɚɧɚɥɵ, ɤɚɤ ɷɬɨ ɫɞɟɥɚɧɨ ɜ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭɭɦ-
ɧɨɦ ɧɚɫɨɫɟ ɇ-5ɋɆ. Ʌɚɛɢɪɢɧɬɧɵɟ ɤɚɧɚɥɵ ɭɞɥɢɧɹɸɬ ɩɭɬɶ ɦɚɫɥɚ, ɫɬɟɤɚɸɳɟ-
ɝɨ ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ ɩɨ ɫɬɟɧɤɟ ɤɨɪɩɭɫɚ, ɫ ɩɟɪɢɮɟɪɢɢ ɞɨ ɟɝɨ ɩɨɫɬɭɩɥɟɧɢɹ ɜ
ɰɟɧɬɪɚɥɶɧɭɸ ɡɨɧɭ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ. ȼ ɷɬɨɦ ɫɥɭɱɚɟ ɥɟɝɤɢɟ ɮɪɚɤɰɢɢ ɦɚɫɥɚ ɭɫ-
ɩɟɜɚɸɬ ɢɫɩɚɪɢɬɶɫɹ ɧɚ ɩɟɪɢɮɟɪɢɢ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ, ɨɬɤɭɞɚ ɨɧɢ ɩɨɫɬɭɩɚɸɬ ɜ
ɧɢɠɧɢɟ ɢ ɷɠɟɤɬɨɪɧɵɟ ɫɨɩɥɚ ɧɚɫɨɫɚ. Ȼɨɥɟɟ ɬɹɠɟɥɵɟ ɮɪɚɤɰɢɢ ɞɨɛɢɪɚɸɬɫɹ
ɞɨ ɰɟɧɬɪɚɥɶɧɨɣ ɡɨɧɵ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ ɢ ɩɢɬɚɸɬ ɩɚɪɨɦ ɜɟɪɯɧɟɟ ɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭ-
ɭɦɧɨɟ ɫɨɩɥɨ.
     Ɍɚɤ ɤɚɤ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɛɭɫɥɨɜɥɟɧɨ ɨɛ-
ɪɚɬɧɵɦ ɩɨɬɨɤɨɦ ɩɚɪɨɜ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢɡ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɨɛɴ-
ɟɤɬ, ɟɝɨ ɦɨɠɧɨ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨ ɭɦɟɧɶɲɢɬɶ, ɟɫɥɢ ɧɚ ɩɭɬɢ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɭɫ-
ɬɚɧɨɜɢɬɶ ɥɨɜɭɲɤɢ.
     ɉɨ ɩɪɢɧɰɢɩɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɥɨɜɭɲɤɢ ɦɨɠɧɨ ɪɚɡɞɟɥɢɬɶ ɧɚ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɟ,
ɞɢɫɫɨɰɢɢɪɭɸɳɢɟ ɢ ɫɨɪɛɢɪɭɸɳɢɟ.
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