Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 12 стр.

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ɨɬɧɨɲɟɧɢɸ ɤ ɰɜɟɬɧɵɦ ɦɟɬɚɥɥɚɦ, ɜɵɫɨɤɚɹ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ (10
-1
ɉɚ).
Ɇɢɧɟɪɚɥɶɧɵɟ ɦɚɫɥɚ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ (ȼɆ-1, ȼɆ-5) ɩɨɥɭ-
ɱɚɸɬ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɞɢɫɬɢɥɥɹɰɢɟɣ ɩɪɨɞɭɤɬɨɜ ɩɟɪɟɪɚɛɨɬɤɢ ɧɟɮɬɢ. Ɉɧɢ ɯɚɪɚɤ-
ɬɟɪɢɡɭɸɬɫɹ ɧɢɡɤɨɣ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶɸ ɩɚɪɚ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ (10
-6
ɉɚ),
ɭɞɨɜɥɟɬɜɨɪɢɬɟɥɶɧɨɣ ɬɟɪɦɨɫɬɨɣɤɨɫɬɶɸ, ɧɨ ɢɦɟɸɬ ɧɟɜɵɫɨɤɭɸ ɬɟɪɦɨɨɤɢɫɥɢ-
ɬɟɥɶɧɭɸ ɫɬɨɣɤɨɫɬɶ ɢ ɨɛɪɚɡɭɸɬ ɫɦɨɥɢɫɬɵɟ ɧɚɥɟɬɵ ɧɚ ɜɧɭɬɪɟɧɧɢɯ ɞɟɬɚɥɹɯ
ɧɚɫɨɫɚ.
ɗɮɢɪɵ, ɩɪɢɦɟɧɹɟɦɵɟ ɜ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚ-
ɫɨɫɨɜ, ɩɪɟɞɫɬɚɜɥɹɸɬ ɫɨɛɨɣ ɩɪɨɞɭɤɬɵ ɫɢɧɬɟɡɚ ɮɬɚɥɟɜɨɣ ɢ ɫɟɛɚɰɢɧɨɜɨɣ ɤɢ-
ɫɥɨɬ ɫ ɜɵɫɲɢɦɢ ɫɩɢɪɬɚɦɢ, ɚ ɬɚɤɠɟ ɩɨɥɢɮɟɧɢɥɨɜɵɟ ɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ, ɫɨɫɬɨɹɳɢɟ
ɢɡ ɛɟɧɡɨɥɶɧɵɯ ɪɚɞɢɤɚɥɨɜ, ɫɨɟɞɢɧɟɧɧɵɯ ɜ ɰɟɩɢ ɱɟɪɟɡ ɚɬɨɦɵ ɤɢɫɥɨɪɨɞɚ.
ɉɨɥɢɮɟɧɢɥɨɜɵɟ ɷɮɢɪɵ (ɉɎɗ) ɢɦɟɸɬ ɨɱɟɧɶ ɧɢɡɤɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ
ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ (10
-9
ɉɚ) ɢ ɜɵɫɨɤɭɸ ɬɟɪɦɨɨɤɢɫɥɢɬɟɥɶɧɭɸ ɫɬɨɣ-
ɤɨɫɬɶ.
Ʉɪɟɦɧɢɣɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ (ȼɄɀ-94,
ɉɎɆɋ-2) – ɷɬɨ ɩɨɥɢɫɢɥɨɤɫɚɧɨɜɵɟ ɩɨɥɢɦɟɪɧɵɟ ɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ, ɫɨɫɬɨɹɳɢɟ ɢɡ
ɮɭɧɤɰɢɨɧɚɥɶɧɵɯ ɝɪɭɩɩ (ɋɇ)
3
)
2
SiO. Ɉɧɢ ɨɛɥɚɞɚɸɬ ɜɵɫɨɤɨɣ ɬɟɪɦɨɨɤɢɫɥɢ-
ɬɟɥɶɧɨɣ ɫɬɨɣɤɨɫɬɶɸ ɢ ɞɨɫɬɚɬɨɱɧɨ ɧɢɡɤɨɣ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶɸ ɩɚɪɚ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɵɯ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɚɯ (10
-5
ɉɚ).
ȼ ɧɚɫɨɫɚɯ ɱɚɳɟ ɜɫɟɝɨ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɞɟɲɟɜɵɟ ɦɢɧɟɪɚɥɶɧɵɟ ɦɚɫɥɚ.
Ʉɪɟɦɧɢɣɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ ɜ ɫɢɫɬɟɦɚɯ ɫ ɱɚɫɬɵɦ ɧɚɩɭɫ-
ɤɨɦ ɚɬɦɨɫɮɟɪɧɨɝɨ ɜɨɡɞɭɯɚ. ɗɮɢɪɵ, ɫɬɨɢɦɨɫɬɶ ɤɨɬɨɪɵɯ ɟɳɟ ɜɵɫɨɤɚ, ɩɪɢ-
ɦɟɧɹɸɬɫɹ ɞɥɹ ɫɢɫɬɟɦ, ɝɞɟ ɬɪɟɛɭɟɬɫɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɟ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ.
Ɋɬɭɬɶ ɢɡ-ɡɚ ɬɨɤɫɢɱɧɨɫɬɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɜ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɬɨɥɶɤɨ ɞɥɹ
ɨɬɤɚɱɤɢ ɪɬɭɬɧɵɯ ɫɢɫɬɟɦ, ɧɚɩɪɢɦɟɪ, ɪɬɭɬɧɵɯ ɜɵɩɪɹɦɢɬɟɥɟɣ.
ȼ ɧɚɫɨɫɚɯ, ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɯ ɧɚ ɧɟɨɞɧɨɪɨɞɧɵɯ ɩɨ ɫɨɫɬɚɜɭ ɢɥɢ ɬɟɪɦɢɱɟɫɤɢ
ɧɟɫɬɚɛɢɥɶɧɵɯ ɠɢɞɤɨɫɬɹɯ, ɱɚɫɬɨ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬ ɮɪɚɤɰɢɨɧɢɪɭɸɳɢɟ ɭɫɬɪɨɣɫɬ-
ɜɚ, ɜɵɞɟɥɹɸɳɢɟ ɛɨɥɟɟ ɬɹɠɟɥɵɟ ɮɪɚɤɰɢɢ ɫ ɧɢɡɤɨɣ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶɸ ɩɚɪɚ ɞɥɹ ɪɚ-
ɛɨɬɵ ɜ ɩɟɪɜɨɣ ɫɬɭɩɟɧɢ ɨɬɤɚɱɤɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ.
ɇɚ ɪɢɫ. 8 ɩɨɤɚɡɚɧɵ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɫɬɟɤɥɹɧɧɨɝɨ ɢ ɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɨɝɨ ɮɪɚɤ-
ɰɢɨɧɢɪɭɸɳɢɯ ɧɚɫɨɫɨɜ. ɋɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɜɲɚɹɫɹ ɧɚ ɫɬɟɧɤɚɯ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚɫɨɫɚ
ɪɚɛɨɱɚɹ ɠɢɞɤɨɫɬɶ ɢɡ-ɡɚ ɛɨɥɶɲɨɝɨ ɝɢɞɪɚɜɥɢɱɟɫɤɨɝɨ ɫɨɩɪɨɬɢɜɥɟɧɢɹ ɞɨɫɬɢ-
ɝɚɟɬ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ ɩɟɪɜɨɣ ɫɬɭɩɟɧɢ ɧɚɫɨɫɚ ɡɚ ɞɨɫɬɚɬɨɱɧɨ ɞɥɢɬɟɥɶɧɨɟ ɜɪɟɦɹ,
ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨɟ ɞɥɹ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ ɥɟɝɤɢɯ ɮɪɚɤɰɢɣ. Ƚɢɞɪɚɜɥɢɱɟɫɤɨɟ ɫɨɩɪɨɬɢɜɥɟ-
ɧɢɟ, ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɸɳɟɟ ɩɟɪɟɦɟɲɢɜɚɧɢɸ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ, ɜ ɫɬɟɤɥɹɧɧɨɣ
12
ɨɬɧɨɲɟɧɢɸ ɤ ɰɜɟɬɧɵɦ ɦɟɬɚɥɥɚɦ, ɜɵɫɨɤɚɹ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ (10-1 ɉɚ).
     Ɇɢɧɟɪɚɥɶɧɵɟ ɦɚɫɥɚ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ (ȼɆ-1, ȼɆ-5) ɩɨɥɭ-
ɱɚɸɬ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɞɢɫɬɢɥɥɹɰɢɟɣ ɩɪɨɞɭɤɬɨɜ ɩɟɪɟɪɚɛɨɬɤɢ ɧɟɮɬɢ. Ɉɧɢ ɯɚɪɚɤ-
ɬɟɪɢɡɭɸɬɫɹ ɧɢɡɤɨɣ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶɸ ɩɚɪɚ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ (10-6 ɉɚ),
ɭɞɨɜɥɟɬɜɨɪɢɬɟɥɶɧɨɣ ɬɟɪɦɨɫɬɨɣɤɨɫɬɶɸ, ɧɨ ɢɦɟɸɬ ɧɟɜɵɫɨɤɭɸ ɬɟɪɦɨɨɤɢɫɥɢ-
ɬɟɥɶɧɭɸ ɫɬɨɣɤɨɫɬɶ ɢ ɨɛɪɚɡɭɸɬ ɫɦɨɥɢɫɬɵɟ ɧɚɥɟɬɵ ɧɚ ɜɧɭɬɪɟɧɧɢɯ ɞɟɬɚɥɹɯ
ɧɚɫɨɫɚ.
     ɗɮɢɪɵ, ɩɪɢɦɟɧɹɟɦɵɟ ɜ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚ-
ɫɨɫɨɜ, ɩɪɟɞɫɬɚɜɥɹɸɬ ɫɨɛɨɣ ɩɪɨɞɭɤɬɵ ɫɢɧɬɟɡɚ ɮɬɚɥɟɜɨɣ ɢ ɫɟɛɚɰɢɧɨɜɨɣ ɤɢ-
ɫɥɨɬ ɫ ɜɵɫɲɢɦɢ ɫɩɢɪɬɚɦɢ, ɚ ɬɚɤɠɟ ɩɨɥɢɮɟɧɢɥɨɜɵɟ ɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ, ɫɨɫɬɨɹɳɢɟ
ɢɡ ɛɟɧɡɨɥɶɧɵɯ ɪɚɞɢɤɚɥɨɜ, ɫɨɟɞɢɧɟɧɧɵɯ ɜ ɰɟɩɢ ɱɟɪɟɡ ɚɬɨɦɵ ɤɢɫɥɨɪɨɞɚ.
ɉɨɥɢɮɟɧɢɥɨɜɵɟ ɷɮɢɪɵ (ɉɎɗ) ɢɦɟɸɬ ɨɱɟɧɶ ɧɢɡɤɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ
ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ (10-9 ɉɚ) ɢ ɜɵɫɨɤɭɸ ɬɟɪɦɨɨɤɢɫɥɢɬɟɥɶɧɭɸ ɫɬɨɣ-
ɤɨɫɬɶ.
     Ʉɪɟɦɧɢɣɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ (ȼɄɀ-94,
ɉɎɆɋ-2) – ɷɬɨ ɩɨɥɢɫɢɥɨɤɫɚɧɨɜɵɟ ɩɨɥɢɦɟɪɧɵɟ ɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ, ɫɨɫɬɨɹɳɢɟ ɢɡ
ɮɭɧɤɰɢɨɧɚɥɶɧɵɯ ɝɪɭɩɩ (ɋɇ)3)2SiO. Ɉɧɢ ɨɛɥɚɞɚɸɬ ɜɵɫɨɤɨɣ ɬɟɪɦɨɨɤɢɫɥɢ-
ɬɟɥɶɧɨɣ ɫɬɨɣɤɨɫɬɶɸ ɢ ɞɨɫɬɚɬɨɱɧɨ ɧɢɡɤɨɣ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶɸ ɩɚɪɚ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɵɯ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɚɯ (10-5 ɉɚ).
     ȼ ɧɚɫɨɫɚɯ ɱɚɳɟ ɜɫɟɝɨ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɞɟɲɟɜɵɟ ɦɢɧɟɪɚɥɶɧɵɟ ɦɚɫɥɚ.
Ʉɪɟɦɧɢɣɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ ɜ ɫɢɫɬɟɦɚɯ ɫ ɱɚɫɬɵɦ ɧɚɩɭɫ-
ɤɨɦ ɚɬɦɨɫɮɟɪɧɨɝɨ ɜɨɡɞɭɯɚ. ɗɮɢɪɵ, ɫɬɨɢɦɨɫɬɶ ɤɨɬɨɪɵɯ ɟɳɟ ɜɵɫɨɤɚ, ɩɪɢ-
ɦɟɧɹɸɬɫɹ ɞɥɹ ɫɢɫɬɟɦ, ɝɞɟ ɬɪɟɛɭɟɬɫɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɟ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ.
Ɋɬɭɬɶ ɢɡ-ɡɚ ɬɨɤɫɢɱɧɨɫɬɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɜ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɬɨɥɶɤɨ ɞɥɹ
ɨɬɤɚɱɤɢ ɪɬɭɬɧɵɯ ɫɢɫɬɟɦ, ɧɚɩɪɢɦɟɪ, ɪɬɭɬɧɵɯ ɜɵɩɪɹɦɢɬɟɥɟɣ.
     ȼ ɧɚɫɨɫɚɯ, ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɯ ɧɚ ɧɟɨɞɧɨɪɨɞɧɵɯ ɩɨ ɫɨɫɬɚɜɭ ɢɥɢ ɬɟɪɦɢɱɟɫɤɢ
ɧɟɫɬɚɛɢɥɶɧɵɯ ɠɢɞɤɨɫɬɹɯ, ɱɚɫɬɨ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬ ɮɪɚɤɰɢɨɧɢɪɭɸɳɢɟ ɭɫɬɪɨɣɫɬ-
ɜɚ, ɜɵɞɟɥɹɸɳɢɟ ɛɨɥɟɟ ɬɹɠɟɥɵɟ ɮɪɚɤɰɢɢ ɫ ɧɢɡɤɨɣ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶɸ ɩɚɪɚ ɞɥɹ ɪɚ-
ɛɨɬɵ ɜ ɩɟɪɜɨɣ ɫɬɭɩɟɧɢ ɨɬɤɚɱɤɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ.
     ɇɚ ɪɢɫ. 8 ɩɨɤɚɡɚɧɵ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɫɬɟɤɥɹɧɧɨɝɨ ɢ ɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɨɝɨ ɮɪɚɤ-
ɰɢɨɧɢɪɭɸɳɢɯ ɧɚɫɨɫɨɜ. ɋɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɜɲɚɹɫɹ ɧɚ ɫɬɟɧɤɚɯ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚɫɨɫɚ
ɪɚɛɨɱɚɹ ɠɢɞɤɨɫɬɶ ɢɡ-ɡɚ ɛɨɥɶɲɨɝɨ ɝɢɞɪɚɜɥɢɱɟɫɤɨɝɨ ɫɨɩɪɨɬɢɜɥɟɧɢɹ ɞɨɫɬɢ-
ɝɚɟɬ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ ɩɟɪɜɨɣ ɫɬɭɩɟɧɢ ɧɚɫɨɫɚ ɡɚ ɞɨɫɬɚɬɨɱɧɨ ɞɥɢɬɟɥɶɧɨɟ ɜɪɟɦɹ,
ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨɟ ɞɥɹ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ ɥɟɝɤɢɯ ɮɪɚɤɰɢɣ. Ƚɢɞɪɚɜɥɢɱɟɫɤɨɟ ɫɨɩɪɨɬɢɜɥɟ-
ɧɢɟ, ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɸɳɟɟ ɩɟɪɟɦɟɲɢɜɚɧɢɸ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ, ɜ ɫɬɟɤɥɹɧɧɨɣ
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