Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 14 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ɉɞɧɢɦ ɢɡ ɜɢɞɨɜ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɯ ɥɨɜɭɲɟɤ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɣ ɨɬɪɚɠɚɬɟɥɶɧɵɣ ɤɨɥɩɚɱɨɤ 1 (ɪɢɫ. 9ɚ). ɇɚɩɪɢɦɟɪ,
ɨɛɪɚɬɧɵɣ ɩɨɬɨɤ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɫɨɫɬɚɜɥɹɟɬ 1 10
-
3
ɦɝ/(ɫɫɦ
2
) ɨɬɧɨɫɢɬɟɥɶɧɨ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɡɚɡɨɪɚ ɦɟɠɞɭ ɩɟɪɜɵɦ ɫɨɩɥɨɦ ɢ ɤɨɪ-
ɩɭɫɨɦ ɧɚɫɨɫɚ. ȿɫɥɢ ɧɚ ɩɭɬɢ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɭɫɬɚɧɨɜɢɬɶ ɬɚɤɭɸ ɥɨɜɭɲɤɭ,
ɬɨ ɨɧ ɡɚ ɫɱɟɬ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɩɚɪɨɜ ɭɦɟɧɶɲɚɟɬɫɹ ɞɨ 1 10
-5
ɦɝ/(ɫɫɦ
2
). ɀɚɥɸ-
ɡɢɣɧɵɟ ɢ ɤɨɧɢɱɟɫɤɢɟ ɞɢɫɤɨɜɵɟ ɥɨɜɭɲɤɢ (ɪɢɫ. 9ɛ) ɩɨɧɢɠɚɸɬ ɨɛɪɚɬɧɵɣ ɩɨ-
ɬɨɤ ɞɨ 110
-6
ɦɝ/(ɫɫɦ
2
). Ʉɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɟ ɥɨɜɭɲɤɢ ɱɚɫɬɨ ɨɯɥɚɠɞɚɸɬ ɜɨɞɨɣ.
ɋɤɨɪɨɫɬɶ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ ɫ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɟɣ ɬɚɤɢɯ ɥɨɜɭɲɟɤ ɡɧɚɱɢ-
ɬɟɥɶɧɨ ɦɟɧɶɲɟ, ɱɟɦ ɫ ɪɚɡɨɝɪɟɬɨɝɨ ɞɨ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ 200 °ɋ ɜɟɪɯɧɟɝɨ ɫɨɩɥɚ
ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ.
Ɉɯɥɚɠɞɚɟɦɵɟ ɥɨɜɭɲɤɢ ɢɦɟɸɬ ɪɚɛɨɱɢɟ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɧɢɠɟ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ.
ȼ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɯɥɚɞɨɚɝɟɧɬɚ ɱɚɫɬɨ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ ɥɟɞ ɢ NaCl (–18 °ɋ), ɥɟɞ ɢ
ɋɚɋ1
2
(–48 °ɋ), ɬɜɟɪɞɚɹ ɭɝɥɟɤɢɫɥɨɬɚ ɫɨ ɫɩɢɪɬɨɦ (–78 °ɋ), ɮɪɟɨɧ (–120 °ɋ),
ɠɢɞɤɢɣ ɜɨɡɞɭɯ (–183 °ɋ), ɠɢɞɤɢɣ ɚɡɨɬ (–196 °ɋ). Ⱦɥɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɧɢɡɤɢɯ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪ (ɞɨ –70 °ɋ) ɦɨɠɧɨ ɩɪɢɦɟɧɹɬɶ ɩɨɥɭɩɪɨɜɨɞɧɢɤɨɜɵɟ ɷɥɟɦɟɧɬɵ,
ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɟ ɧɚ ɷɮɮɟɤɬɟ ɉɟɥɶɬɶɟ.
Ɋɢɫ. 9. ɋɯɟɦɚ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɯ ɥɨɜɭɲɟɤ: ɚ – ɨɬɪɚɠɚɬɟɥɶɧɵɣ ɤɨɥɩɚɱɨɤ; ɛ – ɤɨ-
ɧɢɱɟɫɤɚɹ ɞɢɫɤɨɜɚɹ; ɜ – ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɚɹ ɫɬɟɤɥɹɧɧɚɹ;
ɝ – ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɚɹ ɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɚɹ
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     Ɉɞɧɢɦ ɢɡ ɜɢɞɨɜ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɯ ɥɨɜɭɲɟɤ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɣ ɨɬɪɚɠɚɬɟɥɶɧɵɣ ɤɨɥɩɚɱɨɤ 1 (ɪɢɫ. 9ɚ). ɇɚɩɪɢɦɟɪ,
ɨɛɪɚɬɧɵɣ ɩɨɬɨɤ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ ɞɥɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɫɨɫɬɚɜɥɹɟɬ 1 10-
3
  ɦɝ/(ɫ˜ɫɦ2) ɨɬɧɨɫɢɬɟɥɶɧɨ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɡɚɡɨɪɚ ɦɟɠɞɭ ɩɟɪɜɵɦ ɫɨɩɥɨɦ ɢ ɤɨɪ-
ɩɭɫɨɦ ɧɚɫɨɫɚ. ȿɫɥɢ ɧɚ ɩɭɬɢ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɭɫɬɚɧɨɜɢɬɶ ɬɚɤɭɸ ɥɨɜɭɲɤɭ,
ɬɨ ɨɧ ɡɚ ɫɱɟɬ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɩɚɪɨɜ ɭɦɟɧɶɲɚɟɬɫɹ ɞɨ 1 10-5 ɦɝ/(ɫ˜ɫɦ2). ɀɚɥɸ-
ɡɢɣɧɵɟ ɢ ɤɨɧɢɱɟɫɤɢɟ ɞɢɫɤɨɜɵɟ ɥɨɜɭɲɤɢ (ɪɢɫ. 9ɛ) ɩɨɧɢɠɚɸɬ ɨɛɪɚɬɧɵɣ ɩɨ-
ɬɨɤ ɞɨ 1˜10-6 ɦɝ/(ɫ˜ɫɦ2). Ʉɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɟ ɥɨɜɭɲɤɢ ɱɚɫɬɨ ɨɯɥɚɠɞɚɸɬ ɜɨɞɨɣ.
ɋɤɨɪɨɫɬɶ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ ɫ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɟɣ ɬɚɤɢɯ ɥɨɜɭɲɟɤ ɡɧɚɱɢ-
ɬɟɥɶɧɨ ɦɟɧɶɲɟ, ɱɟɦ ɫ ɪɚɡɨɝɪɟɬɨɝɨ ɞɨ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ 200 °ɋ ɜɟɪɯɧɟɝɨ ɫɨɩɥɚ
ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ.
     Ɉɯɥɚɠɞɚɟɦɵɟ ɥɨɜɭɲɤɢ ɢɦɟɸɬ ɪɚɛɨɱɢɟ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɧɢɠɟ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ.
ȼ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɯɥɚɞɨɚɝɟɧɬɚ ɱɚɫɬɨ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ ɥɟɞ ɢ NaCl (–18 °ɋ), ɥɟɞ ɢ
ɋɚɋ12 (–48 °ɋ), ɬɜɟɪɞɚɹ ɭɝɥɟɤɢɫɥɨɬɚ ɫɨ ɫɩɢɪɬɨɦ (–78 °ɋ), ɮɪɟɨɧ (–120 °ɋ),
ɠɢɞɤɢɣ ɜɨɡɞɭɯ (–183 °ɋ), ɠɢɞɤɢɣ ɚɡɨɬ (–196 °ɋ). Ⱦɥɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɧɢɡɤɢɯ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪ (ɞɨ –70 °ɋ) ɦɨɠɧɨ ɩɪɢɦɟɧɹɬɶ ɩɨɥɭɩɪɨɜɨɞɧɢɤɨɜɵɟ ɷɥɟɦɟɧɬɵ,
ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɟ ɧɚ ɷɮɮɟɤɬɟ ɉɟɥɶɬɶɟ.




Ɋɢɫ. 9. ɋɯɟɦɚ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɯ ɥɨɜɭɲɟɤ: ɚ – ɨɬɪɚɠɚɬɟɥɶɧɵɣ ɤɨɥɩɚɱɨɤ; ɛ – ɤɨ-
               ɧɢɱɟɫɤɚɹ ɞɢɫɤɨɜɚɹ; ɜ – ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɚɹ ɫɬɟɤɥɹɧɧɚɹ;
                       ɝ – ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɚɹ ɦɟɬɚɥɥɢɱɟɫɤɚɹ
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