Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 9 стр.

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ВГУ | Воронеж

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ɜɨɞɨɣ. ɋɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɜɲɢɣɫɹ ɧɚ ɫɬɟɧɤɚɯ ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤɚ ɩɚɪ ɫɬɟɤɚɟɬ ɜ ɤɢɩɹ-
ɬɢɥɶɧɢɤ ɩɨ ɬɪɭɛɤɟ 7, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɸɳɟɣ ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɭɸ ɰɢɪɤɭɥɹɰɢɸ ɪɚɛɨɱɟɣ
ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɜ ɧɚɫɨɫɟ.
Ɋɢɫ.5. ɉɪɢɧɰɢɩɢɚɥɶɧɚɹ ɫɯɟɦɚ
ɷɠɟɤɬɨɪɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ
ɉɪɨɫɬɟɣɲɢɣ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɣ ɧɚɫɨɫ (ɪɢɫ. 6) ɫɨɫɬɨɢɬ ɢɡ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ 1,
ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɨɝɨ ɫɨɩɥɚ 2, ɡɚɤɪɟɩɥɟɧɧɨɝɨ ɧɚ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɟ 6, ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤɚ 4,
ɜɩɭɫɤɧɨɝɨ ɢ ɜɵɩɭɫɤɧɨɝɨ ɩɚɬɪɭɛɤɨɜ 3 ɢ 5. ɉɚɪɵ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢɡ ɤɢɩɹ-
ɬɢɥɶɧɢɤɚ ɩɪɨɯɨɞɹɬ ɩɨ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɭ ɱɟɪɟɡ ɡɨɧɬɢɱɧɨɟ ɫɨɩɥɨ ɢ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭ-
ɸɬɫɹ ɧɚ ɫɬɟɧɤɚɯ ɧɚɫɨɫɚ, ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɵɯ ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤɨɦ. Ɂɚ ɜɪɟɦɹ ɞɜɢɠɟɧɢɹ
ɩɚɪɚ ɨɬ ɤɨɧɰɚ ɫɨɩɥɚ ɞɨ ɫɬɟɧɨɤ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɫɬɪɭɸ ɩɚɪɚ ɞɢɮɮɭɧɞɢɪɭɟɬ ɨɬɤɚɱɢ-
ɜɚɟɦɵɣ ɝɚɡ. ɉɨɫɥɟ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɨɛɪɚɡɨɜɚɜɲɟɣɫɹ ɩɚɪɨɝɚɡɨɜɨɣ ɫɦɟɫɢ ɜɵɞɟ-
ɥɢɜɲɢɣɫɹ ɝɚɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɬɫɹ ɱɟɪɟɡ ɜɵɩɭɫɤɧɨɣ ɩɚɬɪɭɛɨɤ ɧɚɫɨɫɨɦ ɩɪɟɞɜɚɪɢ-
ɬɟɥɶɧɨɝɨ ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɹ, ɚ ɫɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɧɧɵɣ ɩɚɪ ɫɬɟɤɚɟɬ ɩɨ ɫɬɟɧɤɚɦ ɧɚɫɨɫɚ
ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ ɱɟɪɟɡ ɡɚɡɨɪ ɦɟɠɞɭ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɨɦ ɢ ɤɨɪɩɭɫɨɦ ɧɚɫɨɫɚ.
ȼɟɥɢɱɢɧɵ ɡɚɡɨɪɚ ɚ ɢ ɭɝɥɚ ɧɚɤɥɨɧɚ ɫɨɩɥɚ D ɨɤɚɡɵɜɚɸɬ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨɟ
ɜɥɢɹɧɢɟ ɧɚ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɢ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɯ ɧɚ-
ɫɨɫɨɜ.
Ⱦɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ, ɩɪɟɞɧɚɡɧɚɱɟɧɧɵɟ ɞɥɹ ɪɚɛɨɬɵ ɜ ɞɢɚɩɚɡɨɧɟ ɞɚɜ-
ɥɟɧɢɣ 10
-1
... 10 ɉɚ, ɧɚɡɵɜɚɸɬɫɹ ɛɭɫɬɟɪɧɵɦɢ. ȼ ɷɬɢɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɭɜɟɥɢɱɟɧɚ
ɦɨɳɧɨɫɬɶ ɩɨɞɨɝɪɟɜɚɬɟɥɹ, ɩɪɢɦɟɧɟɧɵ ɬɟɪɦɨɫɬɨɣɤɢɟ ɪɚɛɨɱɢɟ ɠɢɞɤɨɫɬɢ, ɱɬɨ
ɩɨɡɜɨɥɹɟɬ ɭɜɟɥɢɱɢɬɶ ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɢ ɫɞɜɢɧɭɬɶ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɭ ɧɚɫɨ-
ɫɚ S
ɧ
= f(p) ɜ ɫɬɨɪɨɧɭ ɛɨɥɟɟ ɜɵɫɨɤɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɣ.
9
ɜɨɞɨɣ. ɋɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɜɲɢɣɫɹ ɧɚ ɫɬɟɧɤɚɯ ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤɚ ɩɚɪ ɫɬɟɤɚɟɬ ɜ ɤɢɩɹ-
ɬɢɥɶɧɢɤ ɩɨ ɬɪɭɛɤɟ 7, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɸɳɟɣ ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɭɸ ɰɢɪɤɭɥɹɰɢɸ ɪɚɛɨɱɟɣ
ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɜ ɧɚɫɨɫɟ.




                                        Ɋɢɫ.5. ɉɪɢɧɰɢɩɢɚɥɶɧɚɹ ɫɯɟɦɚ
                                            ɷɠɟɤɬɨɪɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ




     ɉɪɨɫɬɟɣɲɢɣ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɣ ɧɚɫɨɫ (ɪɢɫ. 6) ɫɨɫɬɨɢɬ ɢɡ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ 1,
ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɨɝɨ ɫɨɩɥɚ 2, ɡɚɤɪɟɩɥɟɧɧɨɝɨ ɧɚ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɟ 6, ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤɚ 4,
ɜɩɭɫɤɧɨɝɨ ɢ ɜɵɩɭɫɤɧɨɝɨ ɩɚɬɪɭɛɤɨɜ 3 ɢ 5. ɉɚɪɵ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢɡ ɤɢɩɹ-
ɬɢɥɶɧɢɤɚ ɩɪɨɯɨɞɹɬ ɩɨ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɭ ɱɟɪɟɡ ɡɨɧɬɢɱɧɨɟ ɫɨɩɥɨ ɢ ɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭ-
ɸɬɫɹ ɧɚ ɫɬɟɧɤɚɯ ɧɚɫɨɫɚ, ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɵɯ ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤɨɦ. Ɂɚ ɜɪɟɦɹ ɞɜɢɠɟɧɢɹ
ɩɚɪɚ ɨɬ ɤɨɧɰɚ ɫɨɩɥɚ ɞɨ ɫɬɟɧɨɤ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɫɬɪɭɸ ɩɚɪɚ ɞɢɮɮɭɧɞɢɪɭɟɬ ɨɬɤɚɱɢ-
ɜɚɟɦɵɣ ɝɚɡ. ɉɨɫɥɟ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɨɛɪɚɡɨɜɚɜɲɟɣɫɹ ɩɚɪɨɝɚɡɨɜɨɣ ɫɦɟɫɢ ɜɵɞɟ-
ɥɢɜɲɢɣɫɹ ɝɚɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɬɫɹ ɱɟɪɟɡ ɜɵɩɭɫɤɧɨɣ ɩɚɬɪɭɛɨɤ ɧɚɫɨɫɨɦ ɩɪɟɞɜɚɪɢ-
ɬɟɥɶɧɨɝɨ ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɹ, ɚ ɫɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɧɧɵɣ ɩɚɪ ɫɬɟɤɚɟɬ ɩɨ ɫɬɟɧɤɚɦ ɧɚɫɨɫɚ
ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ ɱɟɪɟɡ ɡɚɡɨɪ ɦɟɠɞɭ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɨɦ ɢ ɤɨɪɩɭɫɨɦ ɧɚɫɨɫɚ.
     ȼɟɥɢɱɢɧɵ ɡɚɡɨɪɚ ɚ ɢ ɭɝɥɚ ɧɚɤɥɨɧɚ ɫɨɩɥɚ D ɨɤɚɡɵɜɚɸɬ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨɟ
ɜɥɢɹɧɢɟ ɧɚ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɢ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɯ ɧɚ-
ɫɨɫɨɜ.
     Ⱦɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ, ɩɪɟɞɧɚɡɧɚɱɟɧɧɵɟ ɞɥɹ ɪɚɛɨɬɵ ɜ ɞɢɚɩɚɡɨɧɟ ɞɚɜ-
ɥɟɧɢɣ 10-1 ... 10 ɉɚ, ɧɚɡɵɜɚɸɬɫɹ ɛɭɫɬɟɪɧɵɦɢ. ȼ ɷɬɢɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɭɜɟɥɢɱɟɧɚ
ɦɨɳɧɨɫɬɶ ɩɨɞɨɝɪɟɜɚɬɟɥɹ, ɩɪɢɦɟɧɟɧɵ ɬɟɪɦɨɫɬɨɣɤɢɟ ɪɚɛɨɱɢɟ ɠɢɞɤɨɫɬɢ, ɱɬɨ
ɩɨɡɜɨɥɹɟɬ ɭɜɟɥɢɱɢɬɶ ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɢ ɫɞɜɢɧɭɬɶ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɭ ɧɚɫɨ-
ɫɚ Sɧ = f(p) ɜ ɫɬɨɪɨɧɭ ɛɨɥɟɟ ɜɵɫɨɤɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɣ.



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