Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 7 стр.

    Ɏɢɪɦɨɣ Alcatel ɪɚɡɪɚɛɨɬɚɧɵ ɢ ɜɵɩɭɫɤɚɸɬɫɹ ɌɆɇ ɫɟɪɢɢ ȺɌɊ, ɨɛɟɫɩɟ-
ɱɢɜɚɸɳɢɟ ɩɨɥɭɱɟɧɢɟ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɹ ɞɨ 10-7–10-8 ɉɚ ɜ ɞɢɚɩɚɡɨɧɟ
ɩɪɨɢɡɜɨɞɢɬɟɥɶɧɨɫɬɟɣ ɨɬ 80 ɞɨ 900 ɥ/ɫ. ȼ ɌɆɇ ɷɬɨɣ ɫɟɪɢɢ ɪɨɬɨɪ ɧɚɫɨɫɚ ɡɚ-
ɤɪɟɩɥɟɧ ɫ ɩɪɢɦɟɧɟɧɢɟɦ ɤɟɪɚɦɢɱɟɫɤɢɯ ɩɨɞɲɢɩɧɢɤɨɜ, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɸɳɢɯ
ɨɱɟɧɶ ɞɥɢɬɟɥɶɧɭɸ ɷɤɫɩɥɭɚɬɚɰɢɸ. Ɋɨɬɨɪ ɜɪɚɳɚɟɬɫɹ ɧɚ ɪɚɛɨɱɟɦ ɪɟɠɢɦɟ ɫ
ɨɬɧɨɫɢɬɟɥɶɧɨ ɧɟɜɵɫɨɤɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɶɸ (27000 ɨɛ/ɦɢɧ), ɱɬɨ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬ ɧɚ-
ɫɨɫɭ ɫɭɳɟɫɬɜɟɧɧɨ ɛɨɥɶɲɢɣ ɪɟɫɭɪɫ. Ɋɚɛɨɱɟɟ ɩɨɥɨɠɟɧɢɟ ɬɭɪɛɢɧɵ – ɩɪɨɢɡ-
ɜɨɥɶɧɨɟ.




 Ɋɢɫ. 3. Ɍɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɣ ɧɚɫɨɫ ɌɆɇ-400Ɇɉ ɫ ɦɚɝɧɢɬɧɨɣ ɩɨɞɜɟɫɤɨɣ ɪɨɬɨɪɚ



    1.2. ɉɚɪɨɫɬɪɭɣɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ

     Ⱦɥɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɜ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɭɫɬɚɧɨɜɤɚɯ ɨɫɬɚɬɨɱɧɵɯ ɞɚɜɥɟɧɢɣ ɜ ɞɢɚ-
ɩɚɡɨɧɟ 10-2–10-7 ɉɚ ɫɨɜɪɟɦɟɧɧɚɹ ɬɟɯɧɢɤɚ ɢɫɩɨɥɶɡɭɟɬ ɱɚɳɟ ɜɫɟɝɨ ɩɚɪɨ-
ɫɬɪɭɣɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ, ɪɚɛɨɬɚ ɤɨɬɨɪɵɯ ɨɫɧɨɜɚɧɚ ɧɚ ɨɬɤɚɱɢɜɚɸɳɟɦ ɞɟɣɫɬɜɢɢ
ɫɬɪɭɢ ɩɚɪɚ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ.
     ɉɪɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɟ (ɪɢɫ. 4) ɦɨɥɟɤɭɥɵ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ, ɩɨ-
ɫɬɭɩɚɸɳɢɟ ɜ ɧɚɫɨɫ ɱɟɪɟɡ ɜɯɨɞɧɨɣ ɩɚɬɪɭɛɨɤ 1, ɜɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɭɸɬ ɫɨ ɫɬɪɭɟɣ
ɩɚɪɚ, ɢɦɟɸɳɟɣ ɡɜɭɤɨɜɭɸ ɢɥɢ ɫɜɟɪɯɡɜɭɤɨɜɭɸ ɫɤɨɪɨɫɬɶ, ɢ ɩɪɢɨɛɪɟɬɚɸɬ ɞɨ-
ɩɨɥɧɢɬɟɥɶɧɭɸ ɫɤɨɪɨɫɬɶ ɜ ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɢɢ ɧɚɫɨɫɚ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɪɚɡɪɟɠɟ-
ɧɢɹ, ɩɪɢɫɨɟɞɢɧɹɟɦɨɝɨ ɤ ɜɵɯɨɞɧɨɦɭ ɩɚɬɪɭɛɤɭ 6.
     ȼ ɤɚɦɟɪɟ 3 ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɫɦɟɲɟɧɢɟ ɩɚɪɨɜɨɣ ɫɬɪɭɢ, ɜɵɯɨɞɹɳɟɣ ɢɡ ɫɨ-
ɩɥɚ 2, ɢ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ. Ɂɚɩɢɪɚɸɳɢɣ ɤɚɧɚɥ 4 ɫɨɡɞɚɟɬ ɫɨɩɪɨɬɢɜɥɟɧɢɟ
ɨɛɪɚɬɧɨɦɭ ɩɨɬɨɤɭ ɝɚɡɚ, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɹ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ ɧɚɫɨɫɚ. Ɋɚɡ-

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