Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 5 стр.

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ВГУ | Воронеж

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ɧɨɫɬɶ ɢɯ ɪɚɛɨɬɵ. ɍɜɟɥɢɱɟɧɢɟ ɡɚɡɨɪɨɜ, ɫɧɢɠɚɹ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ
ɧɚɫɨɫɚ, ɫɥɚɛɨ ɜɥɢɹɟɬ ɧɚ ɟɝɨ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ.
Ɋɢɫ. 1. ɋɯɟɦɵ ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ:
ɚ – ɫ ɝɨɪɢɡɨɧɬɚɥɶɧɵɦ ɜɚɥɨɦ, ɛ – ɫ ɜɟɪɬɢɤɚɥɶɧɵɦ ɜɚɥɨɦ
Ȼɵɫɬɪɨɬɚ ɨɬɤɚɱɤɢ ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫɥɚɛɨ ɡɚɜɢɫɢɬ ɨɬ ɪɨɞɚ
ɝɚɡɚ. ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɧɚɫɨɫɨɜ 10
-7
... 10
-8
ɉɚ. ɋ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɟɦ ɦɨɥɟɤɭ-
ɥɹɪɧɨɣ ɦɚɫɫɵ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ ɪɚɫɬɟɬ ɡɚ ɫɱɟɬ ɭɦɟɧɶɲɟɧɢɹ ɩɟɪɟ-
ɬɟɱɟɤ ɱɟɪɟɡ ɡɚɡɨɪɵ ɢ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɹ ɨɬɧɨɲɟɧɢɹ ɥɢɧɟɣɧɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɪɨɬɨɪɚ ɤ
ɬɟɩɥɨɜɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɦɨɥɟɤɭɥ X
ɪ
/X
ɚɪ
. ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɬɚɤɢɯ
ɧɚɫɨɫɨɜ ɞɥɹ ɜɨɡɞɭɯɚ 1 ... 10 ɉɚ.
Ɍɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɜɫɟ ɲɢɪɟ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬɫɹ ɜ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ
ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɢ. ɗɬɨ ɨɛɭɫɥɨɜɥɟɧɨ ɢɯ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜɚɦɢ:
– ɭɞɟɥɶɧɚɹ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ~ 2 ɥ/ɫɧɚ 1 ɫɦ
2
ɩɥɨɳɚɞɢ ɜɯɨɞɧɨɝɨ ɫɟ-
ɱɟɧɢɹ;
– ɞɨɫɬɚɬɨɱɧɨ ɲɢɪɨɤɢɣ ɞɢɚɩɚɡɨɧ ɪɚɛɨɱɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɢ 10
-8
… 10 ɉɚ;
– ɛɵɫɬɪɵɣ ɡɚɩɭɫɤ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɬɟɱɟɧɢɟ 5 ... 10 ɦɢɧ;
– ɩɪɚɤɬɢɱɟɫɤɢ ɛɟɡɦɚɫɥɹɧɵɣ ɫɩɟɤɬɪ ɨɫɬɚɬɨɱɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɩɪɢ ɧɚɩɭɫɤɟ ɫɭ-
ɯɨɝɨ ɚɡɨɬɚ ɜɪɟɦɹ ɡɚɩɭɫɤɚ ɢ ɨɫɬɚɧɨɜɤɢ ɧɚɫɨɫɚ;
– ɭɞɨɛɫɬɜɨ ɜɫɬɪɚɢɜɚɧɢɹ ɜ ɨɬɤɚɱɧɵɟ ɫɢɫɬɟɦɵ.
5
ɧɨɫɬɶ ɢɯ ɪɚɛɨɬɵ. ɍɜɟɥɢɱɟɧɢɟ ɡɚɡɨɪɨɜ, ɫɧɢɠɚɹ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ
ɧɚɫɨɫɚ, ɫɥɚɛɨ ɜɥɢɹɟɬ ɧɚ ɟɝɨ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ.




                  Ɋɢɫ. 1. ɋɯɟɦɵ ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ:
           ɚ – ɫ ɝɨɪɢɡɨɧɬɚɥɶɧɵɦ ɜɚɥɨɦ, ɛ – ɫ ɜɟɪɬɢɤɚɥɶɧɵɦ ɜɚɥɨɦ

     Ȼɵɫɬɪɨɬɚ ɨɬɤɚɱɤɢ ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫɥɚɛɨ ɡɚɜɢɫɢɬ ɨɬ ɪɨɞɚ
ɝɚɡɚ. ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɧɚɫɨɫɨɜ 10-7... 10-8 ɉɚ. ɋ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɟɦ ɦɨɥɟɤɭ-
ɥɹɪɧɨɣ ɦɚɫɫɵ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ ɪɚɫɬɟɬ ɡɚ ɫɱɟɬ ɭɦɟɧɶɲɟɧɢɹ ɩɟɪɟ-
ɬɟɱɟɤ ɱɟɪɟɡ ɡɚɡɨɪɵ ɢ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɹ ɨɬɧɨɲɟɧɢɹ ɥɢɧɟɣɧɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɪɨɬɨɪɚ ɤ
ɬɟɩɥɨɜɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɦɨɥɟɤɭɥ Xɪ/Xɚɪ. ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɬɚɤɢɯ
ɧɚɫɨɫɨɜ ɞɥɹ ɜɨɡɞɭɯɚ 1 ... 10 ɉɚ.
     Ɍɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɜɫɟ ɲɢɪɟ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬɫɹ ɜ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ
ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɢ. ɗɬɨ ɨɛɭɫɥɨɜɥɟɧɨ ɢɯ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜɚɦɢ:
     – ɭɞɟɥɶɧɚɹ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ~ 2 ɥ/ɫ ɧɚ 1 ɫɦ2 ɩɥɨɳɚɞɢ ɜɯɨɞɧɨɝɨ ɫɟ-
ɱɟɧɢɹ;
     – ɞɨɫɬɚɬɨɱɧɨ ɲɢɪɨɤɢɣ ɞɢɚɩɚɡɨɧ ɪɚɛɨɱɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɢ 10-8 … 10 ɉɚ;
     – ɛɵɫɬɪɵɣ ɡɚɩɭɫɤ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɬɟɱɟɧɢɟ 5 ... 10 ɦɢɧ;
     – ɩɪɚɤɬɢɱɟɫɤɢ ɛɟɡɦɚɫɥɹɧɵɣ ɫɩɟɤɬɪ ɨɫɬɚɬɨɱɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɩɪɢ ɧɚɩɭɫɤɟ ɫɭ-
ɯɨɝɨ ɚɡɨɬɚ ɜɪɟɦɹ ɡɚɩɭɫɤɚ ɢ ɨɫɬɚɧɨɜɤɢ ɧɚɫɨɫɚ;
     – ɭɞɨɛɫɬɜɨ ɜɫɬɪɚɢɜɚɧɢɹ ɜ ɨɬɤɚɱɧɵɟ ɫɢɫɬɟɦɵ.

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