Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 34 стр.

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ВГУ | Воронеж

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ɜɨɞɤɚ ɬɪɟɯɮɚɡɧɨɝɨ ɬɨɤɚ ɧɚɩɪɹɠɟɧɢɟɦ 220/380 ȼ ɞɥɹ ɩɨɞɤɥɸɱɟɧɢɹ ɷɥɟɤ-
ɬɪɨɦɨɬɨɪɚ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɨɞɧɨɮɚɡɧɨɝɨ ɬɨɤɚ ɞɥɹ ɩɨɞɤɥɸɱɟɧɢɹ
ɷɥɟɤɬɪɨɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɹ ɩɚɪɨɦɚɫɥɹɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ.
ɉɪɢ ɭɫɬɚɧɨɜɤɟ ɧɚɫɨɫɚ ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨ ɩɪɟɞɭɫɦɨɬɪɟɬɶ ɦɟɫɬɨ ɞɥɹ ɦɟ-
ɯɚɧɢɱɟɫɤɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɫ ɭɱɟɬɨɦ ɤɪɚɬɱɚɣɲɟɣ ɞɥɢɧɵ ɫɨɟɞɢɧɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɬɪɭɛɨ-
ɩɪɨɜɨɞɚ, ɭɫɥɨɜɧɵɣ ɞɢɚɦɟɬɪ ɤɨɬɨɪɨɝɨ ɞɨɥɠɟɧ ɛɵɬɶ ɧɟ ɦɟɧɶɲɟ ɜɧɭɬɪɟɧɧɟɝɨ
ɞɢɚɦɟɬɪɚ ɜɵɩɭɫɤɧɨɝɨ ɩɚɬɪɭɛɤɚ ɧɚɫɨɫɚ. ɉɟɪɟɞ ɦɨɧɬɚɠɨɦ ɫɧɹɬɶ ɡɚɝɥɭɲɤɢ
ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɩɪɨɜɟɪɢɬɶ ɧɚɥɢɱɢɟ ɦɚɫɥɚ.
ɋɨɟɞɢɧɢɬɶ ɜɵɩɭɫɤɧɨɣ ɮɥɚɧɟɰ ɧɚɫɨɫɚ ɫ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɦ ɧɚɫɨɫɨɦ ɬɪɭɛɨ-
ɩɪɨɜɨɞɨɦ, ɫɢɥɶɮɨɧɧɵɦ ɩɟɪɟɯɨɞɧɢɤɨɦ ɢ ɜɚɤɭɭɦɧɵɦ ɜɟɧɬɢɥɟɦ (ɪɢɫ. 22).
ɉɪɢɫɨɟɞɢɧɢɬɶ ɤ ɲɬɭɰɟɪɚɦ ɫɢɫɬɟɦɵ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɬɪɭɛɤɢ ɞɥɹ
ɩɨɞɚɱɢ ɢ ɨɬɜɨɞɚ ɜɨɞɵ. ɉɨɞɜɨɞɹɳɚɹ ɬɪɭɛɤɚ ɩɪɢɫɨɟɞɢɧɹɟɬɫɹ ɤ ɲɬɭɰɟɪɭ ɜ
ɜɟɪɯɧɟɣ ɱɚɫɬɢ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚɫɨɫɚ.
Ɋɢɫ. 22. ɉɪɢɦɟɪɧɚɹ ɫɯɟɦɚ ɩɨɞɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ:
1 – ɧɚɫɨɫ ɇ-1ɋ-2; 2 – ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɣ ɧɚɫɨɫ; 3 – ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɨɛɴɟɦ;
4 – ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞ; 5 – ɜɟɧɬɢɥɶ; 6 – ɫɢɥɶɮɨɧ
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ɜɨɞɤɚ ɬɪɟɯɮɚɡɧɨɝɨ ɬɨɤɚ ɧɚɩɪɹɠɟɧɢɟɦ 220/380 ȼ ɞɥɹ ɩɨɞɤɥɸɱɟɧɢɹ ɷɥɟɤ-
ɬɪɨɦɨɬɨɪɚ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɨɞɧɨɮɚɡɧɨɝɨ ɬɨɤɚ ɞɥɹ ɩɨɞɤɥɸɱɟɧɢɹ
ɷɥɟɤɬɪɨɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɹ ɩɚɪɨɦɚɫɥɹɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ.
    ɉɪɢ ɭɫɬɚɧɨɜɤɟ ɧɚɫɨɫɚ ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨ ɩɪɟɞɭɫɦɨɬɪɟɬɶ ɦɟɫɬɨ ɞɥɹ ɦɟ-
ɯɚɧɢɱɟɫɤɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɫ ɭɱɟɬɨɦ ɤɪɚɬɱɚɣɲɟɣ ɞɥɢɧɵ ɫɨɟɞɢɧɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɬɪɭɛɨ-
ɩɪɨɜɨɞɚ, ɭɫɥɨɜɧɵɣ ɞɢɚɦɟɬɪ ɤɨɬɨɪɨɝɨ ɞɨɥɠɟɧ ɛɵɬɶ ɧɟ ɦɟɧɶɲɟ ɜɧɭɬɪɟɧɧɟɝɨ
ɞɢɚɦɟɬɪɚ ɜɵɩɭɫɤɧɨɝɨ ɩɚɬɪɭɛɤɚ ɧɚɫɨɫɚ. ɉɟɪɟɞ ɦɨɧɬɚɠɨɦ ɫɧɹɬɶ ɡɚɝɥɭɲɤɢ
ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɩɪɨɜɟɪɢɬɶ ɧɚɥɢɱɢɟ ɦɚɫɥɚ.
    ɋɨɟɞɢɧɢɬɶ ɜɵɩɭɫɤɧɨɣ ɮɥɚɧɟɰ ɧɚɫɨɫɚ ɫ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɦ ɧɚɫɨɫɨɦ ɬɪɭɛɨ-
ɩɪɨɜɨɞɨɦ, ɫɢɥɶɮɨɧɧɵɦ ɩɟɪɟɯɨɞɧɢɤɨɦ ɢ ɜɚɤɭɭɦɧɵɦ ɜɟɧɬɢɥɟɦ (ɪɢɫ. 22).
    ɉɪɢɫɨɟɞɢɧɢɬɶ ɤ ɲɬɭɰɟɪɚɦ ɫɢɫɬɟɦɵ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɬɪɭɛɤɢ ɞɥɹ
ɩɨɞɚɱɢ ɢ ɨɬɜɨɞɚ ɜɨɞɵ. ɉɨɞɜɨɞɹɳɚɹ ɬɪɭɛɤɚ ɩɪɢɫɨɟɞɢɧɹɟɬɫɹ ɤ ɲɬɭɰɟɪɭ ɜ
ɜɟɪɯɧɟɣ ɱɚɫɬɢ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚɫɨɫɚ.




                  Ɋɢɫ. 22. ɉɪɢɦɟɪɧɚɹ ɫɯɟɦɚ ɩɨɞɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ:
     1 – ɧɚɫɨɫ ɇ-1ɋ-2; 2 – ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɣ ɧɚɫɨɫ; 3 – ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɨɛɴɟɦ;
                  4 – ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞ; 5 – ɜɟɧɬɢɥɶ; 6 – ɫɢɥɶɮɨɧ


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