Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 36 стр.

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ВГУ | Воронеж

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ɉɚɪɨɦɚɫɥɹɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɞɨɥɠɧɵ ɷɤɫɩɥɭɚɬɢɪɨɜɚɬɶɫɹ ɬɨɥɶɤɨ ɫ ɪɟɤɨɦɟɧ-
ɞɨɜɚɧɧɨɣ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɶɸ, ɞɥɹ ɤɨɬɨɪɨɣ ɡɚɜɨɞɨɦ-ɢɡɝɨɬɨɜɢɬɟɥɟɦ (ɪɚɡɪɚ-
ɛɨɬɱɢɤɨɦ) ɜɵɛɪɚɧɵ ɤɪɢɬɢɱɟɫɤɢɟ ɩɪɨɯɨɞɧɵɟ ɫɟɱɟɧɢɹ ɫɨɩɥ ɢ ɪɟɠɢɦ ɷɤɫ-
ɩɥɭɚɬɚɰɢɢ. ɂɧɨɝɞɚ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɟ ɥɭɱɲɟɣ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɛɟɡ ɩɟɪɟɞɟɥ-
ɤɢ ɧɚɫɨɫɚ ɦɨɠɟɬ ɩɪɢɜɟɫɬɢ ɤ ɯɭɞɲɢɦ ɪɟɡɭɥɶɬɚɬɚɦ.
ɗɤɫɩɥɭɚɬɚɰɢɨɧɧɵɟ ɦɟɪɨɩɪɢɹɬɢɹ ɫɜɨɞɹɬɫɹ ɜ ɨɫɧɨɜɧɨɦ ɤ ɫɨɯɪɚɧɟɧɢɸ
ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɚ ɢ ɤɚɱɟɫɬɜɚ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɜ ɧɚɫɨɫɟ ɢ ɤ ɦɟɪɚɦ ɡɚɳɢɬɵ ɨɬɤɚ-
ɱɢɜɚɟɦɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ ɨɬ ɱɪɟɡɦɟɪɧɨɝɨ ɩɪɨɧɢɤɧɨɜɟɧɢɹ ɜ ɧɟɟ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ. Ⱦɥɹ
ɷɬɨɝɨ ɫɥɟɞɭɟɬ ɩɪɢɞɟɪɠɢɜɚɬɶɫɹ ɨɛɵɱɧɨɣ ɩɨɫɥɟɞɨɜɚɬɟɥɶɧɨɫɬɢ ɨɩɟɪɚɰɢɣ ɩɪɢ
ɡɚɩɭɫɤɟ ɧɚɫɨɫɚ: ɨɬɤɚɱɚɬɶ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɣ ɧɚɫɨɫ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɵɦ ɞɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ
ɨɤɨɥɨ 6,5 ɉɚ (~ 5 10
-2
ɦɦ ɪɬ. ɫɬ.), ɜɤɥɸɱɢɬɶ ɩɨɞɚɱɭ ɨɯɥɚɠɞɚɸɳɟɣ ɜɨɞɵ,
ɜɤɥɸɱɢɬɶ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ (ɩɪɢ ɷɬɨɦ ɜɨɡɦɨɠɧɨ ɧɟɛɨɥɶɲɨɟ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɟ ɞɚɜɥɟ-
ɧɢɹ ɡɚ ɫɱɟɬ ɝɚɡɨɜɵɞɟɥɟɧɢɹ ɢɡ ɪɚɡɨɝɪɟɜɚɸɳɟɝɨɫɹ ɦɚɫɥɚ); ɩɨɫɥɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɧɚ-
ɫɨɫɚ (ɱɟɪɟɡ 30–60 ɦɢɧ ɜ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɟɝɨ ɪɚɡɦɟɪɨɜ) ɨɯɥɚɞɢɬɶ ɚɡɨɬɧɭɸ
ɥɨɜɭɲɤɭ ɢ ɦɟɞɥɟɧɧɨ ɨɬɤɪɵɬɶ ɡɚɬɜɨɪ ɢɥɢ ɜɟɧɬɢɥɶ ɧɚ ɟɝɨ ɜɯɨɞɟ, (ɩɪɢ ɷɬɨɦ
ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɜ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɦ ɨɛɴɟɦɟ ɞɨɥɠɧɨ ɛɵɬɶ ɧɟ ɜɵɲɟ ɪɟɤɨɦɟɧɞɨɜɚɧɧɨɝɨ
ɧɚɱɚɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ). Ɉɫɬɚɧɨɜɤɚ ɧɚɫɨɫɚ ɜɫɟɝɞɚ ɧɚɱɢɧɚɟɬɫɹ ɫ ɡɚɤɪɵɬɢɹ ɡɚ-
ɬɜɨɪɚ, ɡɚɬɟɦ ɪɚɡɦɨɪɚɠɢɜɚɟɬɫɹ ɚɡɨɬɧɚɹ ɥɨɜɭɲɤɚ ɢ ɩɨɫɥɟ ɷɬɨɝɨ ɜɵɤɥɸɱɚɟɬɫɹ
ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ. Ɏɨɪɜɚɤɭɭɦɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɢ ɜɨɞɹɧɨɟ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɟ ɩɪɟɤɪɚɳɚɸɬɫɹ
ɩɨɫɥɟ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ, ɤɨɬɨɪɨɟ ɦɨɠɧɨ ɭɫɤɨɪɢɬɶ, ɫɧɹɜ ɧɚɝɪɟɜɚ-
ɬɟɥɶ ɢ ɨɛɞɭɜɚɹ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ ɜɨɡɞɭɯɨɦ. ȼ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɜ ɞɧɢɳɟ ɤɢɩɹ-
ɬɢɥɶɧɢɤɚ ɢɦɟɸɬɫɹ ɤɚɧɚɥɵ ɜɨɞɹɧɨɝɨ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ, ɱɬɨ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨ ɫɨɤɪɚ-
ɳɚɟɬ ɜɪɟɦɹ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ. ɇɟɛɨɥɶɲɢɟ ɨɬɫɬɭɩɥɟɧɢɹ ɨɬ ɷɬɢɯ ɩɪɚɜɢɥ
(ɧɚɩɪɢɦɟɪ, ɜɤɥɸɱɟɧɢɟ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɹ ɨɞɧɨɜɪɟɦɟɧɧɨ ɫ ɧɚɱɚɥɨɦ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɨɣ
ɨɬɤɚɱɤɢ ɩɚɪɨɦɚɫɥɹɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɞɥɹ ɭɫɤɨɪɟɧɢɹ ɡɚɩɭɫɤɚ) ɞɨɩɭɫɤɚɸɬɫɹ ɬɨɥɶɤɨ
ɩɪɢ ɩɨɥɧɨɣ ɭɜɟɪɟɧɧɨɫɬɢ ɜ ɝɟɪɦɟɬɢɱɧɨɫɬɢ ɫɢɫɬɟɦɵ.
3.2.5. Ɇɟɪɵ ɩɪɟɞɨɫɬɨɪɨɠɧɨɫɬɢ
Ɋɚɫɫɦɨɬɪɢɦ ɚɜɚɪɢɣɧɵɟ ɫɢɬɭɚɰɢɢ. ɉɪɢ ɪɚɡɝɟɪɦɟɬɢɡɚɰɢɢ ɫɢɫɬɟɦɵ ɢɥɢ
ɩɪɟɤɪɚɳɟɧɢɢ ɩɨɞɚɱɢ ɨɯɥɚɠɞɚɸɳɟɣ ɜɨɞɵ ɞɨɥɠɟɧ ɛɵɬɶ ɩɟɪɟɤɪɵɬ ɡɚɬɜɨɪ ɧɚ
ɜɩɭɫɤɟ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɨɬɤɥɸɱɟɧ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ; ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɩɪɢ ɷɬɨɦ
ɩɪɨɞɨɥɠɚɟɬɫɹ.
ɉɪɢ ɚɜɚɪɢɣɧɨɣ ɨɫɬɚɧɨɜɤɟ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɞɨɥɠɟɧ ɛɵɬɶ ɩɟɪɟ-
ɤɪɵɬ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɵɣ ɜɟɧɬɢɥɶ, ɡɚɬɜɨɪ ɧɚ ɜɩɭɫɤɟ ɢ ɬɚɤɠɟ ɨɬɤɥɸɱɟɧ ɧɚɝɪɟɜɚ-
ɬɟɥɶ.
36
     ɉɚɪɨɦɚɫɥɹɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɞɨɥɠɧɵ ɷɤɫɩɥɭɚɬɢɪɨɜɚɬɶɫɹ ɬɨɥɶɤɨ ɫ ɪɟɤɨɦɟɧ-
ɞɨɜɚɧɧɨɣ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɶɸ, ɞɥɹ ɤɨɬɨɪɨɣ ɡɚɜɨɞɨɦ-ɢɡɝɨɬɨɜɢɬɟɥɟɦ (ɪɚɡɪɚ-
ɛɨɬɱɢɤɨɦ) ɜɵɛɪɚɧɵ ɤɪɢɬɢɱɟɫɤɢɟ ɩɪɨɯɨɞɧɵɟ ɫɟɱɟɧɢɹ ɫɨɩɥ ɢ ɪɟɠɢɦ ɷɤɫ-
ɩɥɭɚɬɚɰɢɢ. ɂɧɨɝɞɚ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɟ ɥɭɱɲɟɣ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɛɟɡ ɩɟɪɟɞɟɥ-
ɤɢ ɧɚɫɨɫɚ ɦɨɠɟɬ ɩɪɢɜɟɫɬɢ ɤ ɯɭɞɲɢɦ ɪɟɡɭɥɶɬɚɬɚɦ.
     ɗɤɫɩɥɭɚɬɚɰɢɨɧɧɵɟ ɦɟɪɨɩɪɢɹɬɢɹ ɫɜɨɞɹɬɫɹ ɜ ɨɫɧɨɜɧɨɦ ɤ ɫɨɯɪɚɧɟɧɢɸ
ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɚ ɢ ɤɚɱɟɫɬɜɚ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɜ ɧɚɫɨɫɟ ɢ ɤ ɦɟɪɚɦ ɡɚɳɢɬɵ ɨɬɤɚ-
ɱɢɜɚɟɦɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ ɨɬ ɱɪɟɡɦɟɪɧɨɝɨ ɩɪɨɧɢɤɧɨɜɟɧɢɹ ɜ ɧɟɟ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ. Ⱦɥɹ
ɷɬɨɝɨ ɫɥɟɞɭɟɬ ɩɪɢɞɟɪɠɢɜɚɬɶɫɹ ɨɛɵɱɧɨɣ ɩɨɫɥɟɞɨɜɚɬɟɥɶɧɨɫɬɢ ɨɩɟɪɚɰɢɣ ɩɪɢ
ɡɚɩɭɫɤɟ ɧɚɫɨɫɚ: ɨɬɤɚɱɚɬɶ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɣ ɧɚɫɨɫ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɵɦ ɞɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ
ɨɤɨɥɨ 6,5 ɉɚ (~ 5 10-2 ɦɦ ɪɬ. ɫɬ.), ɜɤɥɸɱɢɬɶ ɩɨɞɚɱɭ ɨɯɥɚɠɞɚɸɳɟɣ ɜɨɞɵ,
ɜɤɥɸɱɢɬɶ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ (ɩɪɢ ɷɬɨɦ ɜɨɡɦɨɠɧɨ ɧɟɛɨɥɶɲɨɟ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɟ ɞɚɜɥɟ-
ɧɢɹ ɡɚ ɫɱɟɬ ɝɚɡɨɜɵɞɟɥɟɧɢɹ ɢɡ ɪɚɡɨɝɪɟɜɚɸɳɟɝɨɫɹ ɦɚɫɥɚ); ɩɨɫɥɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɧɚ-
ɫɨɫɚ (ɱɟɪɟɡ 30–60 ɦɢɧ ɜ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɟɝɨ ɪɚɡɦɟɪɨɜ) ɨɯɥɚɞɢɬɶ ɚɡɨɬɧɭɸ
ɥɨɜɭɲɤɭ ɢ ɦɟɞɥɟɧɧɨ ɨɬɤɪɵɬɶ ɡɚɬɜɨɪ ɢɥɢ ɜɟɧɬɢɥɶ ɧɚ ɟɝɨ ɜɯɨɞɟ, (ɩɪɢ ɷɬɨɦ
ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɜ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɦ ɨɛɴɟɦɟ ɞɨɥɠɧɨ ɛɵɬɶ ɧɟ ɜɵɲɟ ɪɟɤɨɦɟɧɞɨɜɚɧɧɨɝɨ
ɧɚɱɚɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ). Ɉɫɬɚɧɨɜɤɚ ɧɚɫɨɫɚ ɜɫɟɝɞɚ ɧɚɱɢɧɚɟɬɫɹ ɫ ɡɚɤɪɵɬɢɹ ɡɚ-
ɬɜɨɪɚ, ɡɚɬɟɦ ɪɚɡɦɨɪɚɠɢɜɚɟɬɫɹ ɚɡɨɬɧɚɹ ɥɨɜɭɲɤɚ ɢ ɩɨɫɥɟ ɷɬɨɝɨ ɜɵɤɥɸɱɚɟɬɫɹ
ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ. Ɏɨɪɜɚɤɭɭɦɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɢ ɜɨɞɹɧɨɟ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɟ ɩɪɟɤɪɚɳɚɸɬɫɹ
ɩɨɫɥɟ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ, ɤɨɬɨɪɨɟ ɦɨɠɧɨ ɭɫɤɨɪɢɬɶ, ɫɧɹɜ ɧɚɝɪɟɜɚ-
ɬɟɥɶ ɢ ɨɛɞɭɜɚɹ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ ɜɨɡɞɭɯɨɦ. ȼ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɜ ɞɧɢɳɟ ɤɢɩɹ-
ɬɢɥɶɧɢɤɚ ɢɦɟɸɬɫɹ ɤɚɧɚɥɵ ɜɨɞɹɧɨɝɨ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ, ɱɬɨ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨ ɫɨɤɪɚ-
ɳɚɟɬ ɜɪɟɦɹ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ. ɇɟɛɨɥɶɲɢɟ ɨɬɫɬɭɩɥɟɧɢɹ ɨɬ ɷɬɢɯ ɩɪɚɜɢɥ
(ɧɚɩɪɢɦɟɪ, ɜɤɥɸɱɟɧɢɟ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɹ ɨɞɧɨɜɪɟɦɟɧɧɨ ɫ ɧɚɱɚɥɨɦ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɨɣ
ɨɬɤɚɱɤɢ ɩɚɪɨɦɚɫɥɹɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɞɥɹ ɭɫɤɨɪɟɧɢɹ ɡɚɩɭɫɤɚ) ɞɨɩɭɫɤɚɸɬɫɹ ɬɨɥɶɤɨ
ɩɪɢ ɩɨɥɧɨɣ ɭɜɟɪɟɧɧɨɫɬɢ ɜ ɝɟɪɦɟɬɢɱɧɨɫɬɢ ɫɢɫɬɟɦɵ.

    3.2.5. Ɇɟɪɵ ɩɪɟɞɨɫɬɨɪɨɠɧɨɫɬɢ

     Ɋɚɫɫɦɨɬɪɢɦ ɚɜɚɪɢɣɧɵɟ ɫɢɬɭɚɰɢɢ. ɉɪɢ ɪɚɡɝɟɪɦɟɬɢɡɚɰɢɢ ɫɢɫɬɟɦɵ ɢɥɢ
ɩɪɟɤɪɚɳɟɧɢɢ ɩɨɞɚɱɢ ɨɯɥɚɠɞɚɸɳɟɣ ɜɨɞɵ ɞɨɥɠɟɧ ɛɵɬɶ ɩɟɪɟɤɪɵɬ ɡɚɬɜɨɪ ɧɚ
ɜɩɭɫɤɟ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɨɬɤɥɸɱɟɧ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ; ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɩɪɢ ɷɬɨɦ
ɩɪɨɞɨɥɠɚɟɬɫɹ.
     ɉɪɢ ɚɜɚɪɢɣɧɨɣ ɨɫɬɚɧɨɜɤɟ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɞɨɥɠɟɧ ɛɵɬɶ ɩɟɪɟ-
ɤɪɵɬ ɮɨɪɜɚɤɭɭɦɧɵɣ ɜɟɧɬɢɥɶ, ɡɚɬɜɨɪ ɧɚ ɜɩɭɫɤɟ ɢ ɬɚɤɠɟ ɨɬɤɥɸɱɟɧ ɧɚɝɪɟɜɚ-
ɬɟɥɶ.
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