Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 38 стр.

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ВГУ | Воронеж

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ȼɚɤɭɭɦɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɩɨ ɧɚɡɧɚɱɟɧɢɸ ɩɨɞɪɚɡɞɟɥɹɸɬɫɹ ɧɚ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɜɚ-
ɤɭɭɦɧɵɟ, ɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭɭɦɧɵɟ, ɫɪɟɞɧɟɜɚɤɭɭɦɧɵɟ ɢ ɧɢɡɤɨɜɚɤɭɭɦɧɵɟ, ɚɜɡɚ-
ɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɩɪɢɧɰɢɩɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ – ɧɚ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɢ ɮɢɡɢɤɨ-ɯɢɦɢɱɟɫɤɢɟ.
Ɉɫɧɨɜɧɵɦɢ ɩɚɪɚɦɟɬɪɚɦɢ ɥɸɛɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɹɜɥɹɸɬɫɹ ɛɵɫɬ-
ɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ, ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɧɚɢɦɟɧɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɧɚɢ-
ɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɧɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɢ ɧɚɢɛɨɥɶɲɟɟ
ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ.
Ɋɚɫɫɦɨɬɪɢɦ ɫɯɟɦɭ ɩɪɨɫɬɟɣɲɟɣ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ (ɪɢɫ. 23), ɫɨɫɬɨɹ-
ɳɭɸ ɢɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ 1, ɦɚɧɨɦɟɬɪɢɱɟɫɤɢɯ ɩɪɟɨɛɪɚɡɨɜɚɬɟɥɟɣ 2 ɢ
3, ɧɚɫɨɫɚ 4 ɢ ɫɨɟɞɢɧɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞɚ 5. Ɍɟɱɟɧɢɟ ɝɚɡɚ ɢɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟ-
ɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ ɜ ɧɚɫɨɫ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɡɚ ɫɱɟɬ ɪɚɡɧɨɫɬɢ ɞɚɜɥɟɧɢɣ (Ɋ
2
– Ɋ
1
), ɩɪɢ-
ɱɟɦ Ɋ
2
> Ɋ
1
.
Ɋɢɫ. 23. ɋɯɟɦɚ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ
Ȼɵɫɬɪɨɬɭ ɨɬɤɚɱɤɢ ɧɚɫɨɫɚ S
i
ɜ ɩɪɨɢɡɜɨɥɶɧɨɦ ɫɟɱɟɧɢɢ ɫɨɟɞɢɧɢɬɟɥɶɧɨɝɨ
ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞɚ ɦɨɠɧɨ ɨɩɪɟɞɟɥɢɬɶ ɤɚɤ ɨɛɴɟɦ ɝɚɡɚ, ɩɪɨɯɨɞɹɳɢɣ ɱɟɪɟɡ ɷɬɨ ɫɟ-
ɱɟɧɢɟ ɜ ɟɞɢɧɢɰɭ ɜɪɟɦɟɧɢ: S
i
= dV
i
/dt.
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     ȼɚɤɭɭɦɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɩɨ ɧɚɡɧɚɱɟɧɢɸ ɩɨɞɪɚɡɞɟɥɹɸɬɫɹ ɧɚ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɜɚ-
ɤɭɭɦɧɵɟ, ɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭɭɦɧɵɟ, ɫɪɟɞɧɟɜɚɤɭɭɦɧɵɟ ɢ ɧɢɡɤɨɜɚɤɭɭɦɧɵɟ, ɚ ɜ ɡɚ-
ɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɩɪɢɧɰɢɩɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ – ɧɚ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɢ ɮɢɡɢɤɨ-ɯɢɦɢɱɟɫɤɢɟ.
     Ɉɫɧɨɜɧɵɦɢ ɩɚɪɚɦɟɬɪɚɦɢ ɥɸɛɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɹɜɥɹɸɬɫɹ ɛɵɫɬ-
ɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ, ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɧɚɢɦɟɧɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɧɚɢ-
ɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɧɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɢ ɧɚɢɛɨɥɶɲɟɟ
ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ.
     Ɋɚɫɫɦɨɬɪɢɦ ɫɯɟɦɭ ɩɪɨɫɬɟɣɲɟɣ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ (ɪɢɫ. 23), ɫɨɫɬɨɹ-
ɳɭɸ ɢɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ 1, ɦɚɧɨɦɟɬɪɢɱɟɫɤɢɯ ɩɪɟɨɛɪɚɡɨɜɚɬɟɥɟɣ 2 ɢ
3, ɧɚɫɨɫɚ 4 ɢ ɫɨɟɞɢɧɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞɚ 5. Ɍɟɱɟɧɢɟ ɝɚɡɚ ɢɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟ-
ɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ ɜ ɧɚɫɨɫ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɡɚ ɫɱɟɬ ɪɚɡɧɨɫɬɢ ɞɚɜɥɟɧɢɣ (Ɋ2 – Ɋ1), ɩɪɢ-
ɱɟɦ Ɋ2 > Ɋ1.




                    Ɋɢɫ. 23. ɋɯɟɦɚ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ

    Ȼɵɫɬɪɨɬɭ ɨɬɤɚɱɤɢ ɧɚɫɨɫɚ Si ɜ ɩɪɨɢɡɜɨɥɶɧɨɦ ɫɟɱɟɧɢɢ ɫɨɟɞɢɧɢɬɟɥɶɧɨɝɨ
ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞɚ ɦɨɠɧɨ ɨɩɪɟɞɟɥɢɬɶ ɤɚɤ ɨɛɴɟɦ ɝɚɡɚ, ɩɪɨɯɨɞɹɳɢɣ ɱɟɪɟɡ ɷɬɨ ɫɟ-
ɱɟɧɢɟ ɜ ɟɞɢɧɢɰɭ ɜɪɟɦɟɧɢ: Si = dVi/dt.




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