Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 40 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ƚɪɚɮɢɱɟɫɤɚɹ ɢɧɬɟɪɩɪɟɬɚɰɢɹ ɭɪɚɜɧɟɧɢɹ (8) ɩɪɢɜɟɞɟɧɚ ɧɚ ɪɢɫ. 24. Ɇɚɤ-
ɫɢɦɚɥɶɧɨɟ ɡɧɚɱɟɧɢɟ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬɚ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɪɚɜɧɨ ɟɞɢɧɢɰɟ.
Ɋɢɫ. 24. Ɂɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬɚ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɨɬ ɨɬɧɨɲɟɧɢɹ
ɩɪɨɜɨɞɢɦɨɫɬɢ ɤ ɛɵɫɬɪɨɬɟ ɞɟɣɫɬɜɢɹ
ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɧɚɫɨɫɚ Ɋ
ɩɪ.
– ɷɬɨ ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɤɨɬɨɪɨɟ
ɦɨɠɟɬ ɨɛɟɫɩɟɱɢɬɶ ɧɚɫɨɫ, ɪɚɛɨɬɚɹ ɛɟɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ. Ȼɵɫɬɪɨɬɚ
ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɩɪɢ ɩɪɢɛɥɢɠɟɧɢɢ ɤ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɦɭ ɞɚɜɥɟɧɢɸ ɫɬɪɟɦɢɬɫɹ ɤ
ɧɭɥɸ. ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɛɨɥɶɲɢɧɫɬɜɚ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬɫɹ
ɝɚɡɨɜɵɞɟɥɟɧɢɟɦ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ, ɢɡ ɤɨɬɨɪɵɯ ɢɡɝɨɬɨɜɥɟɧ ɧɚɫɨɫ, ɩɟɪɟɬɟɤɚɧɢɟɦ
ɝɚɡɨɜ ɱɟɪɟɡ ɡɚɡɨɪɵ ɢ ɞɪɭɝɢɦɢ ɹɜɥɟɧɢɹɦɢ, ɜɨɡɧɢɤɚɸɳɢɦɢ ɜ ɩɪɨɰɟɫɫɟ ɨɬ-
ɤɚɱɤɢ.
ɇɚɢɦɟɧɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ
Ɋ
ɦ
– ɷɬɨ ɦɢɧɢɦɚɥɶ-
ɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɩɪɢ ɤɨɬɨɪɨɦ ɧɚɫɨɫ ɞɥɢɬɟɥɶɧɨɟ ɜɪɟɦɹ ɫɨɯɪɚɧɹɟɬ ɧɨɦɢɧɚɥɶ-
ɧɭɸ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ. ɇɚɢɦɟɧɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɪɢɦɟɪɧɨ ɧɚ ɩɨɪɹ-
ɞɨɤ ɜɵɲɟ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ.
ɂɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɟ ɧɚɫɨɫɚ ɞɥɹ ɪɚɛɨɬɵ ɩɪɢ ɞɚɜɥɟɧɢɹɯ ɦɟɠɞɭ ɩɪɟɞɟɥɶɧɵɦ ɢ
ɧɚɢɦɟɧɶɲɢɦ ɪɚɛɨɱɢɦ ɷɤɨɧɨɦɢɱɟɫɤɢ ɧɟɨɩɪɚɜɞɚɧɧɨ ɢɡ-ɡɚ ɭɯɭɞɲɟɧɢɹ ɟɝɨ
ɭɞɟɥɶɧɵɯ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤ.
ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ
Ɋ
ɛ
– ɷɬɨ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶ-
ɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɩɪɢ ɤɨɬɨɪɨɦ ɧɚɫɨɫ ɞɥɢɬɟɥɶɧɨɟ ɜɪɟɦɹ ɫɨɯɪɚɧɹɟɬ ɧɨɦɢɧɚɥɶ-
ɧɭɸ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ. ȼ ɪɚɛɨɱɟɦ ɞɢɚɩɚɡɨɧɟ ɨɬ ɧɚɢɦɟɧɶɲɟɝɨ ɞɨ ɧɚɢ-
ɛɨɥɶɲɟɝɨ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬɫɹ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɨɟ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɟ
ɧɚɫɨɫɚ. Ɋɚɛɨɱɢɟ ɞɢɚɩɚɡɨɧɵ ɞɚɜɥɟɧɢɣ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɜ ɨɫɧɨɜɧɨɦ ɨɩɪɟ-
ɞɟɥɹɸɬɫɹ ɢɯ ɩɪɢɧɰɢɩɨɦ ɞɟɣɫɬɜɢɹ.
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    Ƚɪɚɮɢɱɟɫɤɚɹ ɢɧɬɟɪɩɪɟɬɚɰɢɹ ɭɪɚɜɧɟɧɢɹ (8) ɩɪɢɜɟɞɟɧɚ ɧɚ ɪɢɫ. 24. Ɇɚɤ-
ɫɢɦɚɥɶɧɨɟ ɡɧɚɱɟɧɢɟ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬɚ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɪɚɜɧɨ ɟɞɢɧɢɰɟ.




  Ɋɢɫ. 24. Ɂɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬɚ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɨɬ ɨɬɧɨɲɟɧɢɹ
                    ɩɪɨɜɨɞɢɦɨɫɬɢ ɤ ɛɵɫɬɪɨɬɟ ɞɟɣɫɬɜɢɹ

    ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɧɚɫɨɫɚ Ɋɩɪ. – ɷɬɨ ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɤɨɬɨɪɨɟ
ɦɨɠɟɬ ɨɛɟɫɩɟɱɢɬɶ ɧɚɫɨɫ, ɪɚɛɨɬɚɹ ɛɟɡ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ. Ȼɵɫɬɪɨɬɚ
ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɩɪɢ ɩɪɢɛɥɢɠɟɧɢɢ ɤ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɦɭ ɞɚɜɥɟɧɢɸ ɫɬɪɟɦɢɬɫɹ ɤ
ɧɭɥɸ. ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɛɨɥɶɲɢɧɫɬɜɚ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬɫɹ
ɝɚɡɨɜɵɞɟɥɟɧɢɟɦ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ, ɢɡ ɤɨɬɨɪɵɯ ɢɡɝɨɬɨɜɥɟɧ ɧɚɫɨɫ, ɩɟɪɟɬɟɤɚɧɢɟɦ
ɝɚɡɨɜ ɱɟɪɟɡ ɡɚɡɨɪɵ ɢ ɞɪɭɝɢɦɢ ɹɜɥɟɧɢɹɦɢ, ɜɨɡɧɢɤɚɸɳɢɦɢ ɜ ɩɪɨɰɟɫɫɟ ɨɬ-
ɤɚɱɤɢ.
    ɇɚɢɦɟɧɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ Ɋɦ – ɷɬɨ ɦɢɧɢɦɚɥɶ-
ɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɩɪɢ ɤɨɬɨɪɨɦ ɧɚɫɨɫ ɞɥɢɬɟɥɶɧɨɟ ɜɪɟɦɹ ɫɨɯɪɚɧɹɟɬ ɧɨɦɢɧɚɥɶ-
ɧɭɸ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ. ɇɚɢɦɟɧɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɪɢɦɟɪɧɨ ɧɚ ɩɨɪɹ-
ɞɨɤ ɜɵɲɟ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ.
    ɂɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɟ ɧɚɫɨɫɚ ɞɥɹ ɪɚɛɨɬɵ ɩɪɢ ɞɚɜɥɟɧɢɹɯ ɦɟɠɞɭ ɩɪɟɞɟɥɶɧɵɦ ɢ
ɧɚɢɦɟɧɶɲɢɦ ɪɚɛɨɱɢɦ ɷɤɨɧɨɦɢɱɟɫɤɢ ɧɟɨɩɪɚɜɞɚɧɧɨ ɢɡ-ɡɚ ɭɯɭɞɲɟɧɢɹ ɟɝɨ
ɭɞɟɥɶɧɵɯ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤ.
    ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ Ɋɛ – ɷɬɨ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶ-
ɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɩɪɢ ɤɨɬɨɪɨɦ ɧɚɫɨɫ ɞɥɢɬɟɥɶɧɨɟ ɜɪɟɦɹ ɫɨɯɪɚɧɹɟɬ ɧɨɦɢɧɚɥɶ-
ɧɭɸ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ. ȼ ɪɚɛɨɱɟɦ ɞɢɚɩɚɡɨɧɟ ɨɬ ɧɚɢɦɟɧɶɲɟɝɨ ɞɨ ɧɚɢ-
ɛɨɥɶɲɟɝɨ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬɫɹ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɨɟ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɢɟ
ɧɚɫɨɫɚ. Ɋɚɛɨɱɢɟ ɞɢɚɩɚɡɨɧɵ ɞɚɜɥɟɧɢɣ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɜ ɨɫɧɨɜɧɨɦ ɨɩɪɟ-
ɞɟɥɹɸɬɫɹ ɢɯ ɩɪɢɧɰɢɩɨɦ ɞɟɣɫɬɜɢɹ.


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