Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 41 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ⱦɚɜɥɟɧɢɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ Ɋ
3
– ɷɬɨ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ
ɜɨ ɜɯɨɞɧɨɦ ɫɟɱɟɧɢɢ ɧɚɫɨɫɚ, ɩɪɢ ɤɨɬɨɪɨɦ ɨɧ ɦɨɠɟɬ ɧɚɱɚɬɶ ɪɚɛɨɬɭ. Ⱦɚɜɥɟ-
ɧɢɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɨɛɵɱɧɨ ɧɚ ɦɧɨɝɨ ɩɪɟɜɵɲɚɟɬ ɧɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ.
Ⱦɥɹ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɬɢɩɨɜ ɧɚɫɨɫɨɜ, ɧɚɩɪɢɦɟɪ, ɦɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɯ, ɷɬɨ ɪɚɡɥɢɱɢɟ
ɦɨɠɟɬ ɞɨɫɬɢɝɚɬɶ 2…3 ɩɨɪɹɞɤɨɜ.
ɉɚɪɚɦɟɬɪɵ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɩɨɤɚɡɚɧɵ ɧɚ ɨɫɧɨɜɧɨɣ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɟ
ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ – ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɛɵɫɬɪɨɬɵ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɨɬ ɟɝɨ ɜɯɨɞɧɨɝɨ ɞɚɜ-
ɥɟɧɢɹ (ɪɢɫ. 25). ɇɚ ɧɟɣ ɜ ɫɪɟɞɧɟɣ ɨɛɥɚɫɬɢ ɪɚɛɨɱɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɣ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣ-
ɫɬɜɢɹ ɩɨɫɬɨɹɧɧɚ ɢ ɪɚɜɧɚ S
max
. ɉɪɢ ɩɪɢɛɥɢɠɟɧɢɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɤ ɩɪɟ-
ɞɟɥɶɧɨɦɭ P
ɩɪ.
ɨɧɚ ɫɬɪɟɦɢɬɫɹ ɤ ɧɭɥɸ ɢɡ-ɡɚ ɧɚɥɢɱɢɹ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɝɚɡɨɜ
ɢ ɩɚɪɨɜ ɢɡ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɨɛɴɟɤɬ.
Ɋɢɫ. 25. Ɉɫɧɨɜɧɵɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ – ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɛɵɫɬɪɨ-
ɬɵ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɨɬ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚ ɜɯɨɞɟ ɜ ɧɚɫɨɫ
ɉɪɢ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɡɚ ɜɟɪɯɧɸɸ ɝɪɚɧɢɰɭ ɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɨ-
ɝɨ ɬɟɱɟɧɢɹ Ɋ
ɛ
ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɭɦɟɧɶɲɚɟɬɫɹ ɜ ɫɜɹɡɢ ɫɨ ɫɧɢɠɟɧɢɟɦ ɫɤɨ-
ɪɨɫɬɢ ɞɢɮɮɭɡɢɢ ɦɨɥɟɤɭɥ ɝɚɡɚ ɜ ɫɬɪɭɸ ɩɚɪɚ ɢ ɩɪɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɦ ɜɯɨɞɧɨɦ
ɞɚɜɥɟɧɢɢ Ɋ
3
ɫɬɪɟɦɢɬɫɹ ɤ ɧɭɥɸ.
Ȼɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɭ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬ ɩɟɪɜɨɟ ɫɨɩɥɨ
ɫɨ ɫɬɨɪɨɧɵ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ. ɂɞɟɚɥɶɧɚɹ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬɫɹ
ɩɥɨɳɚɞɶɸ ɤɨɥɶɰɟɜɨɝɨ ɡɚɡɨɪɚ ɦɟɠɞɭ ɩɟɪɜɵɦ ɫɨɩɥɨɦ ɢ ɤɨɪɩɭɫɨɦ ɧɚɫɨɫɚ.
ɗɬɨ ɫɨɩɥɨ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬ ɪɚɫɱɟɬɧɭɸ ɩɪɨɢɡɜɨɞɢɬɟɥɶɧɨɫɬɶ, ɧɨ ɫ ɦɚɥɵɦ ɩɟɪɟ-
ɩɚɞɨɦ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɝɚɡɚ ɦɟɠɞɭ ɜɯɨɞɨɦ ɢ ɜɵɯɨɞɨɦ ɧɚ ɩɟɪɜɵɣ ɫɬɭɩɟɧɢ. ɉɨɫɥɟ-
ɞɭɸɳɢɟ ɫɬɭɩɟɧɢ ɩɪɨɢɡɜɨɞɹɬ ɨɬɤɚɱɤɭ ɫ ɦɟɧɶɲɟɣ ɛɵɫɬɪɨɬɨɣ, ɧɨ ɡɚɬɨ ɩɟɪɟ-
41
    Ⱦɚɜɥɟɧɢɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ Ɋ3 – ɷɬɨ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ
ɜɨ ɜɯɨɞɧɨɦ ɫɟɱɟɧɢɢ ɧɚɫɨɫɚ, ɩɪɢ ɤɨɬɨɪɨɦ ɨɧ ɦɨɠɟɬ ɧɚɱɚɬɶ ɪɚɛɨɬɭ. Ⱦɚɜɥɟ-
ɧɢɟ ɡɚɩɭɫɤɚ ɨɛɵɱɧɨ ɧɚ ɦɧɨɝɨ ɩɪɟɜɵɲɚɟɬ ɧɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɛɨɱɟɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ.
Ⱦɥɹ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɬɢɩɨɜ ɧɚɫɨɫɨɜ, ɧɚɩɪɢɦɟɪ, ɦɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɯ, ɷɬɨ ɪɚɡɥɢɱɢɟ
ɦɨɠɟɬ ɞɨɫɬɢɝɚɬɶ 2…3 ɩɨɪɹɞɤɨɜ.
    ɉɚɪɚɦɟɬɪɵ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɩɨɤɚɡɚɧɵ ɧɚ ɨɫɧɨɜɧɨɣ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɟ
ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ – ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɛɵɫɬɪɨɬɵ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɨɬ ɟɝɨ ɜɯɨɞɧɨɝɨ ɞɚɜ-
ɥɟɧɢɹ (ɪɢɫ. 25). ɇɚ ɧɟɣ ɜ ɫɪɟɞɧɟɣ ɨɛɥɚɫɬɢ ɪɚɛɨɱɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɣ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣ-
ɫɬɜɢɹ ɩɨɫɬɨɹɧɧɚ ɢ ɪɚɜɧɚ Smax. ɉɪɢ ɩɪɢɛɥɢɠɟɧɢɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɤ ɩɪɟ-
ɞɟɥɶɧɨɦɭ Pɩɪ. ɨɧɚ ɫɬɪɟɦɢɬɫɹ ɤ ɧɭɥɸ ɢɡ-ɡɚ ɧɚɥɢɱɢɹ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɝɚɡɨɜ
ɢ ɩɚɪɨɜ ɢɡ ɧɚɫɨɫɚ ɜ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɨɛɴɟɤɬ.




Ɋɢɫ. 25. Ɉɫɧɨɜɧɵɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɜɚɤɭɭɦɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ – ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɛɵɫɬɪɨ-
                 ɬɵ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɨɬ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚ ɜɯɨɞɟ ɜ ɧɚɫɨɫ

     ɉɪɢ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɡɚ ɜɟɪɯɧɸɸ ɝɪɚɧɢɰɭ ɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɨ-
ɝɨ ɬɟɱɟɧɢɹ Ɋɛ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɭɦɟɧɶɲɚɟɬɫɹ ɜ ɫɜɹɡɢ ɫɨ ɫɧɢɠɟɧɢɟɦ ɫɤɨ-
ɪɨɫɬɢ ɞɢɮɮɭɡɢɢ ɦɨɥɟɤɭɥ ɝɚɡɚ ɜ ɫɬɪɭɸ ɩɚɪɚ ɢ ɩɪɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɦ ɜɯɨɞɧɨɦ
ɞɚɜɥɟɧɢɢ Ɋ3 ɫɬɪɟɦɢɬɫɹ ɤ ɧɭɥɸ.
     Ȼɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɭ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬ ɩɟɪɜɨɟ ɫɨɩɥɨ
ɫɨ ɫɬɨɪɨɧɵ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ. ɂɞɟɚɥɶɧɚɹ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬɫɹ
ɩɥɨɳɚɞɶɸ ɤɨɥɶɰɟɜɨɝɨ ɡɚɡɨɪɚ ɦɟɠɞɭ ɩɟɪɜɵɦ ɫɨɩɥɨɦ ɢ ɤɨɪɩɭɫɨɦ ɧɚɫɨɫɚ.
ɗɬɨ ɫɨɩɥɨ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬ ɪɚɫɱɟɬɧɭɸ ɩɪɨɢɡɜɨɞɢɬɟɥɶɧɨɫɬɶ, ɧɨ ɫ ɦɚɥɵɦ ɩɟɪɟ-
ɩɚɞɨɦ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɝɚɡɚ ɦɟɠɞɭ ɜɯɨɞɨɦ ɢ ɜɵɯɨɞɨɦ ɧɚ ɩɟɪɜɵɣ ɫɬɭɩɟɧɢ. ɉɨɫɥɟ-
ɞɭɸɳɢɟ ɫɬɭɩɟɧɢ ɩɪɨɢɡɜɨɞɹɬ ɨɬɤɚɱɤɭ ɫ ɦɟɧɶɲɟɣ ɛɵɫɬɪɨɬɨɣ, ɧɨ ɡɚɬɨ ɩɟɪɟ-


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