Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 37 стр.

 2. П РО Е К Т И РО В А Н И Е Т О П О Л О Г И Г И Б РИ Д Н Ы Х М И К РО СХ Е М            И сходны е да нны е для р а счета СН , пФ ; ℵС , %; UР , В ; технол огич е ск ие
                     2.1 П Р АВИЛ А П Р О ЕК ТИР О ВАН ИЯ                                 огр анич ения.
                            2.1.1 О бщ и е п олож ени я

Разр аботка ГИМ С пр ед став л яетсобойк омпл ек с мер опр иятий, напр авл енны х
на созд ание к омпл ек та к онстр ук тор ск ой д ок ументации, пр ед назнач енного
д л я изготов л е ния и к онтр ол я мик р осхе м. Исход ны ми д анны ми д л я
пр оек тир ов ания яв л яются:

а ) техническое за да ние (Т З) д л я р азр аботк и мик р осхе мы ил и се р ии
мик р осхем;

б) п р инцип иа ль на я электр ическа я схема :

в ) технологические в озмож ности и огр а ничения, т. е . св е д е ния о
технол огич е ск их пр оце ссах и обор уд ов ании, к отор ы е могутиспол ьзов аться
д л я изготов л ения ГИМ С.

Те хнич е ск ое зад ание в к л юч ае т те хнич е ск ие тр е бов ания (функ цию,           Р и с. 1.11 Топ ологи чески й черт ё ж конд енсат ора (м асш т аб не соблю д ался).
э л ек тр ич е ск ие хар ак тер истик и и пар аметр ы р азр абаты в аемой мик р осхемы,
напр я же ние питания и т.п.); э к спл уатационны е тр е бов ания (по                     П ор ядок р а счета : Снач ал а по исход нымд аннымв ыбир аютд иэ л ек тр ич еск ую
к л иматич е ск ими механич е ск имв озд ейств иям); тр ебов ания по над ежности          пасту и пр ов од ящие пасты д л я нижней и в ер хней обк л ад ок и опр ед ел яют
(в р емя бе зотк азной р аботы , ср ок сл ужбы и т.д .); тр ебов ания к хр анению (в      пл ощад ь в ер хней обк л ад к и:
ск л ад ск ихусл ов иях, в пол ев ы хусл ов иях); к онстр ук тив ны е тр ебов ания (тип                                                         СН
                                                                                                                                         SB =
и р азмер к ор пуса, тр ебов ания к в ы в од ам, в е с и т.п.).                                                                                 С0
Н аибол ее тв ор ч е ск ой р аботой в пр оце ссе пр оек тир ов ания ГИМ С яв л яется      Затем, зад ав шись пр иемл е мы м л ине йны м р азмер ом (д л я пр ямоугол ьной
р азр аботка топол огич еск ого ч ер тежа, опр ед ел яющего в заимное р аспол ожение      фор мы ) ил и пр иняв А В = В В (д л я к в ад р атной фор мы ) по (1.47 и 1.48)
в сех э л ементов схемы и их соед инение на пл ате согл асно пр инципиал ьной             р ассч иты в аютгеометр ич е ск ие р азмер ы обк л ад ок и д иэ л ек тр ик а. П р и э том
э л ек тр ич е ск ой схеме с уч етом технол огии изготов л ения.                          уч иты в ают, ч то q = 300 мк м, а f = 200 мк м. П р и к онстр уир ов ании
П оэ томузад ач и самостоятел ьнойр аботы огр анич ены р азр аботкойтопол огии            тол стопл еноч ны х к онд енсатор ов пр ямоугол ьную фор му в ы бир аютл ишь в
мик р осхемы и технол огич е ск ого мар шр ута ее пр оизв од ств а.                       тех сл уч аях, к огд а к в ад р атная фор ма по к ак им-л ибо пр ич инам неуд обна.
Разр аботк у топол огии р е к оме нд уе тся пр оизв од ить в так ой                       П осл е э того опр ед ел яютпл ощад ь, занимаемую к онд енсатор ом, и пр ов од ят
посл ед ов ател ьности:                                                                   оценк уд обр отности и стабил ьности.

1) анализисогласованиеТ З;
                                                                                                      1.3. П Л ЕН ОЧ Н Ы Е ИН Д УК ТИВН Ы Е ЭЛ ЕМ ЕН ТЫ
2) разработкакоммутац ионной сх емы;
                                                                                          Инд ук тив ны е э л ементы шир ок о р аспр остр анены в анал огов ы хГИМ С. Они

                                          48                                                                                        37