Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 42 стр.

UptoLike

Составители: 

42
L
d
K t
3
=
где К- коэффициент, определяемый из рис. 1.13.
5. Зная величину t, из формулы (1.54) определяем N.
N =
t
d
-
D
2
)
(
.
6. Определяют толщину проводящей пленки h
h = (2÷4)Y,
где Y - толщина скин-слоя
λ K Y
1
⋅=
мкм.
где K
1
коэффициент, зависящий от проводимости пленки (для А 1 K
1
=
0,51; для Ag K
1
= 0,37; для Сu K
1
= 0,39; λ - длина волны ; см.
7. По формулам (1.55 и 1.56) определяют ширину пленки b. Если при расчете
окажется, что b
0
< 0,2 мкм, это значит, что наружный диаметр спирали D
выбран слишком большим. Расчет следует повторить , взяв меньшие значения
d и D .
8. После получения приемлемых геометрических размеров спирали следует
по формуле (1.57) определить добротность Q.
КОНТРОЛЬНЫЕ ЗАДАНИЯ
Выполнить конструктивный расчет пленочных резисторов и конденсаторов
с исходными данными , задаваемыми преподавателем из таблиц 1.4 -1.6.
43
Таблица 1.4
Исходные данные для расчета тонкопленочных резисторов
R
Н
,
Ом
R
,
%
R
,
%
R
K
,
%
R
Т
,
%
R
СТ
,
%
l,
мкм
b,
мкм
P
H
,
МВт
1 2000 5 2 1 * 0,5 5 5 10
2 2700 10 5 - - - 30 20 30
3 1000 10 2 - - - 1 1 0,5
4 9100 5 4 1 * 0,3 2 2 3
5 10000 10 4 - * ** 5 5 4
6 300 15 5 - * 2 5 5 25
7 250000
15 5 - * - 5 5 90
8 400 20 5 - * ** 20 10 30
9 200 10 4 - - - 2 2 10
10 700 5 2 2 - - 1 1 5
11 6800 15 5 - * ** 4 4 3
12 15000 20 2 - - - 2 2 2
13 25000 20 5 - * ** 2 2 1
14 1200 5 2 1 - 0,3 2 2 2
15 950 10 5 - - - 4 4 0,5
* - рассчитывается по α
R
для выбранного материала, T = 70° С.
** - рассчитывается для выбранного материала при 1000 час. работы .
                                               d3                                                                                                                 Т аблиц а1.4
                                      t=K
                                               L                                                Исход ны е д анны е д ля расчет а т онкоп леночны х рези ст оров

гд е К - коэф ф ициент, опр ед ел яемы йизр ис. 1.13.                                     №      RН ,      ℵR,     ℵR , ℵRK,       ℵRТ,    ℵRС Т,    ∆l,      ∆b,            PH ,
5. Зная в ел ич инуt, изфор мул ы (1.54) опр ед ел яемN.
                                                                                                 Ом         %        %       %      %        %       мк м      мк м      М Вт
                                         (D - d )
                                      N=          .
                                           2t                                              1  2000         5         2       1      *       0,5        5         5           10
6. Опр ед ел яюттолщ ину п р оводящ ейп ленки h                                            2  2700         10        5       -      -        -        30        20           30
                                     h = (2÷4)Y,                                           3  1000         10        2       -      -        -        1          1           0,5
гд е Y - толщ ина скин-слоя                                                                4  9100         5         4       1      *       0,3        2         2            3
                                                                                           5 10000         10        4       -      *       **         5         5            4
                                  Y = K 1 ⋅ λ мк м.
                                                                                           6   300         15        5       -      *        2         5         5           25
гд е K1 – коэф ф ициент, зав исящий отпр ов од имости пл енк и (д л я А 1 K1 =
                                                                                           7 250000        15        5       -      *        -        5          5           90
0,51; д л я Ag K1 = 0,37; д л я С u K1 = 0,39; λ - длина волны ; см.                       8   400         20        5       -      *       **        20        10           30
7. П о фор мул ам(1.55 и 1.56) опр ед ел яютш ир ину п ленки b. Е сл и пр и р асч ете      9   200         10        4       -      -        -        2          2           10
ок ажется, ч то b0 < 0,2 мк м, э то знач ит, ч то на р уж ны йдиа метр сп ир а ли D       10   700         5         2       2      -        -        1          1            5
в ыбр ан сл ишк омбол ьшим. Расч етсл ед уетпов тор ить, в зяв меньшие знач ения          11 6800          15        5       -      *       **         4         4            3
dиD.                                                                                      12 15000         20        2       -      -        -        2          2            2
8. П осл е пол уч ения пр иемл емы хгеометр ич е ск ихр азмер ов спир ал и сл ед ует      13 25000         20        5       -      *       **         2         2            1
по фор мул е (1.57) опр ед ел ить добр отность Q.                                         14 1200          5         2       1      -       0,3        2         2            2
                                                                                          15   950         10        5       -      -        -        4          4           0,5
                         К О Н Т РО Л Ь Н Ы Е ЗА Д А Н И Я
                                                                                         * - р ассч иты в ается по αR д л я в ы бр анного матер иал а, ∆T = 70° С .
                                                                                         ** - р ассч иты в ается д л я в ы бр анного матер иал а пр и 1000 ч ас. р аботы .
В ы пол нить к онстр ук тив ны й р асч етпл еноч ны х р е зистор ов и к онд енсатор ов
с исход ны ми д анны ми, зад ав аемы ми пр епод ав ател емизтабл иц 1.4 -1.6.




                                         42                                                                                        43