Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 41 стр.

UptoLike

Составители: 

41
где f
раб
- рабочая частота , Гц; L - индуктивность , Гн; ρ - удельное
сопротивление, Омсм ; все линейные размеры даны в сантиметрах.
Для повышения добротности катушки образующие проводники должны
быть достаточно толстыми (30 - 100 мкм). С этой целью поводят
электрохимическое осаждение меди или золота (в ответственных изделиях)
на тонкий подслой титана или ванадия.
1.3.2. Конструктивный расчет пленочных индуктивных элементов
Исходными данными для расчета пленочных индуктивностей являются:
номинальное значение индуктивности L (мкГн); добротность Q и рабочая
частота f
РАБ
(Гц). Наибольшее применение в ГИМС нашли пленочные
индуктивные элементы , выполненные в виде плоской спирали круглой или
квадратной формы . Конструктивный расчет таких индуктивностей сводится
к определению внутреннего d и наружного D диаметров спирали, числа
витков N, ширины проводника b, шага спирали t и толщины проводящей
пленки h.
Порядок расчета
1. Выбирают форму и геометрию индуктивного элемента . Если необходимо
получить высокую Q , то выбирают круглую форму спирали. Если наиболее
важной характеристикой L является минимальная площадь, занимаемая
спиралью, то выбирают квадратную геометрию.
2. Задаются значением внутреннего диаметра спирали d.Он определяется
размерами внутренней контактной площадки и, как правило, выбирается
равным 0,5 мм.
3. О птимальный наружный диаметр определяют из соотношения
ОПТ
D
d
=
0,4 мм - для круглой спирали и
ОПТ
D
d
= 0,362 - для квадратной.
4. Вычисляют шаг спирали t по формуле
44
Таблица 1.5
Исходные данные для расчета группы из 3-х пленочных резисторов
R
Н
,
Ом
R
,
%
R
,
%
R
СТ
,
%
l,
мкм
b,
мкм
P
H
,
мВт
Другие
данные
1 R1
R2
R3
1000
5200
50000
5
15
15
2
2
2
0,3
0,3
0,3
2
2
2
2
2
2
1
3
5
T = 60°C
2 R1
R2
R3
6000
100
100000
5
10
10
1,5
1,5
1,5
0,5
0,5
0,5
5
5
5
5
5
5
10
25
15
T = 50°С
3 R1
R2
R3
100
10000
70000
10
15
15
2
2
2
1
1
1
2
2
2
2
2
2
5
10
15
T = 55°C
4 R1
R2
R3
2000
520
7500
15
10
10
5
2,5
2,5
2
0,5
0,5
30
30
30
30
30
30
30
20
10
T =
50°C
5 R1
R2
R3
200
680
15000
10
10
15
5
5
10
0,5
0,5
0,5
10
10
10
10
10
10
3
3
10
T = 60°C
                                                                           Т аблиц а1.5        гд е f р а б - р абоч ая ч астота, Гц; L - инд ук тив ность, Гн; ρ - уд ел ьное
                                                                                          сопр отив л ение, Ом⋅см; в се л инейны е р азмер ы д аны в сантиметр ах.
                                                                                                Д л я пов ы шения д обр отности к атушк и обр азующие пр ов од ник и д ол жны
                                                                                          бы ть д остаточ но тол сты ми (30 - 100 мк м). С э той це л ью пов од ят
        Исход ны е д анны е д ля расчет а груп п ы и з3-х п леночны х рези ст оров
                                                                                          э л ек тр охимич е ск ое осажд ение мед и ил и зол ота (в отв етств енны хизд ел иях)
                                                                                          на тонк ий под сл ой титана ил и в анад ия.
                      RН ,   ℵR,      ℵR ,        ℵRС Т,   ∆l,   ∆b,   PH,     Д р угие
№                     Ом      %        %            %      мк м мк м мВ т      д анны е
                                                                                            1.3.2. Конст рукт и вны й расчет п леночны х и нд укт и вны х элем ент ов
    1        R1      1000      5       2           0,3     2     2     1     ∆T = 60° C
                                                                                          Исход ны ми д анны ми д л я р асч е та пл еноч ны х инд ук тив ностей яв л яются:
             R2      5200     15       2           0,3     2     2     3
                                                                                          номина ль ное зна чение индуктивности L (мк Гн); добр отность Q и р а боча я
             R3     50000     15       2           0,3     2     2     5
                                                                                          ча стота fРАБ (Гц). Н аибол ьше е пр име нение в ГИМ С нашл и пл еноч ны е
    2        R1      6000      5       1,5         0,5     5     5     10    ∆T = 50° С   инд ук тив ны е э л ементы , в ы пол ненны е в в ид е пл оск ой спир ал и к р угл ой ил и
                                                                                          к в ад р атнойфор мы . Констр ук тив ны йр асч еттак ихинд ук тив ностейсв од ится
             R2       100     10       1,5         0,5     5     5     25
                                                                                          к опр ед ел ению внутр еннего d и на р уж ного D диа метр ов спир ал и, числа
             R3     100000    10       1,5         0,5     5     5     15
                                                                                          витков N, ш ир ины п р оводника b, ш а га сп ир а ли t и толщ ины п р оводящ ей
    3        R1       100     10       2            1      2     2     5     ∆T = 55° C   п ленки h.
             R2     10000     15       2            1      2     2     10
             R3     70000     15       2            1      2     2     15                                                  П оряд ок расчет а

    4        R1      2000     15       5            2      30    30    30    ∆T = 50°C    1. В ы бир аютфор муи геометр ию инд ук тив ного э л емента. Е сл и необход имо
             R2       520     10      2,5          0,5     30    30    20                 пол уч ить в ы сок ую Q, то в ы бир аюткр углую фор муспир ал и. Е сл и наибол ее
             R3      7500     10      2,5          0,5     30    30    10                 в ажной хар ак тер истик ой L яв л яется минимал ьная пл ощад ь, занимае мая
                                                                                          спир ал ью, то в ы бир аютква др а тную геометр ию.
    5        R1       200     10       5           0,5     10    10    3     ∆T = 60° C   2. Зад аются знач ениемвнутр еннегодиа метр а сп ир а ли d.Он опр ед ел яется
             R2       680     10       5           0,5     10    10    3                  р азмер ами в нутр енней к онтак тной пл ощад к и и, к ак пр ав ил о, в ы бир ается
             R3     15000     15       10          0,5     10    10    10                 р ав ны м 0,5 мм.
                                                                                                                                                             d
                                                                                          3. О п тима ль ны йна р уж ны йдиа метр опр ед ел яютизсоотношения   =
                                                                                                                                                              D ОП Т
                                                                                                                             d
                                                                                          0,4 мм- д л я к р угл ой спирали и         = 0,362 - д л я квадратной.
                                                                                                                              D ОП Т

                                                                                          4. В ы ч исл яютшагспир ал и t по фор мул е


                                             44                                                                                     41