ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
67
Рис. 3.8. Растровый (а) и муаровый (б) преобразователи перемещений
В методе муара растры на двух пластинах имеют одинаковый
шаг, но расположены под небольшим углом α друг к другу
(рис. 3.8, б). При наложении растров и их просвечивании наблюдают-
ся светлые и тёмные полосы, идущие поперек штрихов и называемые
комбинационными, или муаровыми, полосами. Перемещение одного
из растров вызывает значительно большее смещение муаровых полос в
направлении, перпендикулярном направлению движения растра, т.е.
также происходит оптическая редукция. Значения этих перемещений
связаны соотношением
α
=
sin/xy
.
Наличие оптической редукции в методах растра и муара позволяет
достигнуть высокой чувствительности к измеряемому перемещению.
При измерениях перемещений от долей микрометра до метра ис-
пользуются лазерные интерферометры. В этих приборах производится
сложение двух световых потоков, излучаемых лазером, один из кото-
рых проходит постоянный путь, а второй – путь, зависящий от изме-
ряемого расстояния. Сложение потоков приводит к усилению или ос-
лаблению суммарного потока в зависимости от разности фаз потоков,
т.е. в зависимости от измеряемого расстояния.
На рисунке 3.9 показано устройство лазерного интерферометра.
Лазер излучает световой поток Ф, который разделяется на два потока
(Ф
1
и Ф
2
) с помощью полупрозрачного наклонного зеркала 2.
Поток Ф
1
, отражаясь от зеркала 2, а затем от зеркала 3, попадает
на фотоэлемент 1. Поток Ф
2
проходит через зеркало 2, отражается от
объекта 4, затем от зеркала 2 и попадает на фотоэлемент 1. В фотоэле-
менте 1 потоки складываются, и при изменении расстояния до объекта
4 периодически будет изменяться сигнал (фототок) фотоэлемента.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 65
- 66
- 67
- 68
- 69
- …
- следующая ›
- последняя »
