ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
68
Рис. 3.9. Лазерный интерферометр
Число подсчитанных с помощью счётчика 5 периодов k фототока
и перемещение объекта на расстояние х связаны соотношением
2/
λ
=
kx
,
где λ – длина волны света.
При измерении перемещений до 1 м погрешность составляет
0,1 … 1 мкм.
Существуют интерферометры с визуальным отсчётом показаний
по шкале, наблюдаемой в окуляр. В качестве указателя используется
чёрная интерференционная полоса, по обе стороны которой видны
окрашенные полосы убывающей интенсивности. Изменение размеров
объекта контроля или его перемещение вызывает смещение чёрной
полосы относительно отметок шкалы отсчётного устройства, програ-
дуированной в единицах длины.
Для измерения больших расстояний (сотен метров и более) при-
меняются лазерные дальномеры, работающие в импульсном или не-
прерывном режиме. В первом случае измеряется интервал времени
между излученным и отражённым импульсами, во втором – сдвиг фаз
между излученным и отражённым сигналами.
Оптические преобразователи перемещений очень широко исполь-
зуются для измерения других величин, которые могут быть преобразо-
ваны в перемещение. Например, они применяются в атомно-силовой
микроскопии, которая как метод контроля поверхностей в нанометро-
вом диапазоне возникла в 1986 г. В основе атомно-силового микроскопа
находится миниатюрная консольная балка – кантилевер (см. рис. 3.10),
на одном из концов которой установлен пьезоманипулятор, а на дру-
гом укреплён очень тонкий наконечник (алмазный или кремниевый с
упрочняющим покрытием). Первоначально был реализован контакт-
ный метод, при котором кончик зонда непрерывно находился в кон-
такте с исследуемой поверхностью. При всей кажущейся простоте реа-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 66
- 67
- 68
- 69
- 70
- …
- следующая ›
- последняя »
