Устройства интегральной электроники: Акустоэлектроника. Основы теории, расчета и проектирования. Дмитриев В.Ф. - 39 стр.

UptoLike

Составители: 

39
ностью. Наибольшая связь имеет место для направления, совпадаю'
щего с осью
Z
. Подобная ориентация ниобата лития часто исполь'
зуется в устройствах на ПАВ.
При некоторых ориентациях пьезоактивная рэлеевская волна
может иметь смещения, расположенные только в сагиттальной плос'
кости. Для этого сагиттальная плоскость должна являться плоско'
стью зеркальной симметрии кристалла. Такая волна называется чи!
стой модой, а направление ее распространения направлением чис!
той моды. При любой заданной ориентации поверхности кристалла
зависимость скорости волны от направления симметрична по отно'
шению к оси чистой моды. Для Y'среза ниобата лития направления
X и Z являются направлениями чистой моды. Следует отметить, что
не для всех направлений в кристалле, относительно которых зависи'
мость скорости симметрична, смещения происходят только в сагит'
тальной плоскости (т. е. обратное утверждение не всегда справедливо).
Новые свойства поверхностных волн, обусловленных анизотро'
пией, состоят в следующем.
1. Структура и свойства волны существенно зависят от направле'
ния распространения и симметрии кристалла.
2. В кристаллах возможно существование новых (по сравнению с
рэлеевской) типов поверхностных волн.
3. В общем случае поверхностная волна в кристалле имеет не две
(как в изотропном случае), а три компоненты вектора смещения и
является волной смешанной поляризации (вертикально'горизон'
тальной).
Рис. 2.6. Фазовая скорость распространения рэлеевской волны в
ниобате лития YAсреза: 1 – скорость на свободной поверхности; 2
скорость на металлизированной поверхности;
θθ
θθ
θ – угол между направлеA
нием распространения и осью Z
3800
3600
3400
–80 –60 –40 200406080–20
ПАВ
Y
Z
X
1
2
V , M/C
R
, градус
θ
θ