Устройства интегральной электроники: Акустоэлектроника. Основы теории, расчета и проектирования. Дмитриев В.Ф. - 38 стр.

UptoLike

Составители: 

38
Однако определитель обращается в ноль лишь при определенных
значениях
β
. Для их нахождения необходима итерационная проце'
дура. При этом скорость волны равна
ωβ/
.
2.4.3. Типы волн в анизотропных однородных средах
Решения вида объемных акустических волн. В пьезоэлектри'
ческом полупространстве могут существовать решения уравнений
(2.9), (2.10) типа объемных акустических волн (см. табл. 2.1).
SSBW – приповерхностная волна, разновидность SH'типа ОАВ
(сдвиговой объемной волны с горизонтальной поляризацией), рас'
пространяющаяся почти параллельно поверхности и сочетающая
свойства ПАВ и ОАВ, благодаря чему используется в датчиках сен'
сорного типа.
Решения вида поверхностных акустических волн. Характер ре'
шений уравнения движения зависит от свойств кристалла, выбран'
ного направления распространения и условий на поверхности. В об'
щем случае решение данной задачи является достаточно сложным
ввиду разнообразии классов симметрии кристаллов. Однако всегда
можно найти одно или несколько решений вида поверхностных аку'
стических волн. Такое решение может содержать все три проекции
вектора смещения, так что траектория движения частиц не всегда
расположена в сагиттальной плоскости, что характерно для волны
рэлеевского типа.
Сагиттальная плоскость – плоскость, образованная направле'
нием распространения волны и нормалью к поверхности тела.
Для некоторых ориентаций в кристалле решение не содержит свя'
занного электрического поля. Такую волну называют непьезоактив'
ной. При этом металлизация поверхности не оказывает влияния на
распределение поля.
Чаще всего рассматривают решение, для которого смещение
1
u
ориентировано параллельно или почти параллельно сагиттальной
плоскости. Это решение содержит связанное электрическое поле и
называется пьезоактивной рэлеевской волной. Данная волна сходна
с релеевской волной в изотропном материале, однако ее свойства не'
сколько отличаются из'за анизотропии и пьезоэффекта. Глубина про'
никновения обычно порядка длины волны. На рис. 2.6 показаны за'
висимости скоростей в Y'срезе ниобата лития от направления рас'
пространения.
Следует обратить внимание на то, что
<
0m
VV
, это всегда справед'
ливо для любых пьезоактивных волн. Разница скоростей
0m
VV
ха'
рактеризует электромеханическую связь с поверхностной неоднород'