Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 134 стр.

     При Γth ∑ Yd , j Γ+ , j >10, то есть в условиях преобладания
термической десорбции продуктов реакции, величина Γth оказывается
сравнимой со скоростью заполнения активных центров, при этом
эффективность очистки активных центров достаточно высока, а доля
свободных активных центров превышает 70%. Увеличение давления
газа приводит к слабому снижению величины (1 − θ ) , однако этот
эффект компенсируется ростом потока атомов хлора, и скорость
травления возрастает по закону близкому к линейному (рис. 3.5.3).
Аналогичный эффект может иметь место и при варьировании
мощности, вкладываемой в разряд в условиях термостатирования
обрабатываемого материала. В этом случае можно ожидать
монотонного роста скорости взаимодействия с увеличением
вкладываемой мощности, характер которого коррелирует с изменением
величины потока атомов хлора на поверхность.
                                     1.8                                                     1.0
            -1




                                     1.6                                                     0.8
            ms0ΓCl(1-θ), 10 см сек
            -2




                                     1.4                                                     0.6
            18




                                                                                                   (1-θ)
                                     1.2                                                     0.4

                                     1.0                                                     0.2

                                     0.8                                                     0.0
                                           1.0   2.0    3.0    4.0        5.0    6.0   7.0
                                                                     16     -3
                                                       n0 = P/kT, 10 см
Рис. 3.5.3. Пример расчета зависимости скорости травления и доли
свободной поверхности от начальной концентрации молекул Cl2 в
условиях Γth ∑ Yd , j Γ+ , j > 10, m = 0.5 и s0 = 0.1

     В рамках использованного упрощенного подхода к анализу
кинетики гетерогенных плазменных процессов ННГП рассматривалась
лишь как источник активных частиц, характеристики которого зависят
только от внешних параметров разряда. В то же время можно ожидать,
что появление продуктов реакции в газовой фазе оказывает влияние на
электрофизические параметры плазмы, энергетическое распределение
электронов, а следовательно, и на        баланс активных частиц,
участвующих в процессе травления. Таким образом, учет «обратной


                                                              134