Составители:
Рубрика:
Утверждено редакционно-издательским советом университета
УДК 621.382
Ежовский Ю.К., Денисова О.В. Физико-химические основы техноло-
гии полупроводниковых материалов: Учеб. пособие .-СПб. : СЗТУ, 2005.-
80 с.
Учебное пособие по дисциплине «Физико-химические основы тех-
нологии РЭС» соответствует требованиям государственных образователь-
ных стандартов высшего профессионального образования по направлению
подготовки дипломированного специалиста 654300 – «Проектирование и
технология электронных средств» (специальность 200800 - «Проектирова-
ние и технология радиоэлектронных средств») и направлению подготов-
ки бакалавра 551100 – «Проектирование и технология электронных
средств».
В учебном пособии рассматриваются особенности технологии глу-
бокой очистки веществ, механизм и кинетика роста кристаллов, основные
методы выращивания монокристаллов, а также основы технологии полу-
чения полупроводниковых материалов и их свойства
, приводятся вопросы
и задания.
Учебное пособие предназначено для студентов 3-го курса, изучаю-
щих дисциплину «Физико-химические основы технологии ЭС».
Научный редактор В.Н.Воронцов, д-р техн. наук, проф.
Рецензенты: кафедра физической электроники РГПУ им.Герцена
(И.И.Хинич, канд. физ.-мат. наук, доц.), Дубровенский С.Д. канд. хим
. на-
ук, доц. кафедры химической технологии материалов и изделий электрон-
ной техники СПбГТИ (ТУ).
© Северо-Западный государственный заочный технический университет, 2005
© Ю.К.Ежовский, О.В.Денисова, 2005
- 2 -
