Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов. Ежовский Ю.К - 5 стр.

UptoLike

3. Сопутствующие, или закономерныепримеси, являющиеся химически-
ми аналогами данного элемента и сопутствующие ему в природе. Приме-
ром может служить олово в кремнии, галлий в алюминии.
Все высокочистые вещества принято подразделять на вещества эта-
лонной чистоты (ВЭЧ) и особо чистые вещества (ОСЧ). В первых лимити-
руют небольшое количество особо нежелательных примесей,
например
специфических. При этом указывают общее содержание примесей в виде
цифр перед индексом ВЭЧ, а также количество определяемых примесей и
их суммарное содержание. Например, обозначение 005ВЭЧ4-7 соответст-
вует материалу с общим содержанием примеси 0,005 масс.%, с четырьмя
определяемыми примесями, количество которых равно 10
-7
масс.%. По
сравнению с материалами класса ВЭЧ вещества ОСЧ характеризуются
большей чистотой и большим количеством определяемых примесей, по-
этому общее содержание примесей практически соответствует сумме оп-
ределяемых. В обозначение веществ ОСЧ входят числа, указывающие ко-
личество нормируемых примесей и их общее содержание в массовых или
атомных процентах, причем суммарное содержание примесей
также обо-
значается в виде отрицательного десятичного логарифма их процентного
содержания. Например, запись ОСЧ18-5 соответствует особо чистому ве-
ществу с восемнадцатью определяемыми примесями и их общим содержа-
нием не более 10
-5
%. Следует иметь в виду, что количество некоторых
примесей может быть значительно ниже указанного процента. В то же са-
мое время, в этой классификации, также как и в ВЭЧ, не находит отраже-
ния вопрос о содержании примесей, присутствие которых не определялось,
но которые в нем могут находиться.
По принятой ранее классификации,
которая используется до
настоящего времени, все чистые вещества делятся на три класса: А, В и С.
К классу А относят вещества, в которых содержание суммы приме-
сей от 0,1 до 0,01 % (соответственно А1 и А2). Их определение проводится
методами прямого химического анализа. К классу В и С относятся вещест-
- 5 -