Составители:
Рубрика:
ва, в которых примеси определяются специальными физико-химическими
методами. В этих классах по четыре подкласса (В3-В6 и С7-С10).
Каждому классу чистоты соответствует определенный цвет этикетки на
таре ( табл. 1.1).
Для особо чистых веществ класса В и С предусматриваются особые
требования при хранении, транспортировке и использовании. Их хранение
допустимо только
в специальной таре (стеклянной, полиэтиленовой или
даже кварцевой) и в дополнительной полиэтиленовой оболочке. Хранятся
эти вещества в сейфах. Отбор проб производится в боксах. В специальных
журналах записываются все проведенные операции. При длительном хра-
нении или частом отборе проб класс вещества (особенно С) понижается.
Необходимо учитывать, что при работе с особо чистыми
препаратами к
вспомогательным материалам (реактивам, посуде, помещению) предъяв-
ляются также высокие требования по чистоте.
Т а б л и ц а 1.1
Классификация чистоты полупроводниковых материалов и их маркировка
Маркировка Содержание, %
класс,
подкласс
цвет этикетки на
таре
основного
вещества
примеси
А1
А2
В3
В4
В5
В6
С7
С8
С9
С10
Коричневый
Серый
Синий
Голубой
Темно-зеленый
Светло-зеленый
Красный
Розовый
Оранжевый
Светло-желтый
99,9
99,99
99,999 (99
3
9)
99,9999 (99
4
9)
99
5
9
99
6
9
99
7
9
99
8
9
99
9
9
99
10
9
10
-1
10
-2
10
-3
10
-4
10
-5
10
-6
10
-7
10
-8
10
-9
10
-10
- 6 -
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 4
- 5
- 6
- 7
- 8
- …
- следующая ›
- последняя »
