Различные виды нанотехнологий - принудительная сборка атомных и молекулярных структур и самосборка нанообъектов. Часть 6. Евдокимов И.Н - 26 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

26
Атомно-силовой микроскоп
Атомно-силовые микроскопы (АСМ) появились как раз-
витие СТМ-технологии, однако заложенные в них совершен-
но иные принципы позволяют исследовать поверхности лю-
бых материаловпроводящих, полупроводников, а также
изоляторов, т.е. непроводящих электрический ток (Binnig et
al., 1986; Howland and Benatar, 2000; Meyer, 1992; Арутюнов и
Толстихина, 1999а, 1999б). АСМ зондируют поверхность об-
разца острой иглой длиной 1–2
мкм и диаметром обычно не
более 10 нм. Игла устанавливается на свободном конце изме-
рительной консоли (кантилевера) – см. рисунок 2.9, справа.
Отклонения кантилевера регистрируются оптической систе-
мой с лазером.
В основу идеи АСМ положен принцип работы обычного
механического профилометра с пружиной и отвесом (рисунок
2.9, слева). Повторяющий форму поверхности отвес позволяет
зафиксировать высоту
той или иной точки поверхности на
вертикальной шкале.
Рисунок 2.9. Принцип работы
атомно-силового микроскопа
(справа) и его прототипамеха-
нического профилометра (слева).
Так же, как в механическом профилометре, в АСМ реги-
стрируют силы (межатомные), действующие со стороны по-
верхности образца на острие сканирующей иглы. На рисунке
2.10, а схематически представлена кривая зависимости по-