Составители:
3
Лабораторная работа № 1
ИССЛЕДОВАНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО
ПОВЕРХНОСТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
РЕЗИСТИВНОЙ ПЛЕНКИ
Цель работы: изучение процесса измерения удельного поверхност-
ного сопротивления резистивных пленок и оценка экспериментальных
данных с позиций проектирования резисторов заданной точности.
1. МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ПО ПОДГОТОВКЕ
К РАБОТЕ
Содержание работы: уяснить поставленную задачу, ознакомиться с
методами измерений удельного поверхностного сопротивление резис-
тивной пленки, ознакомиться с принципом действия измерительной ус-
тановки, разработать программу экспериментальной части работы, про-
вести измерение удельного поверхностного сопротивления резистивной
пленки на подложке, обработать полученный экспериментальный мате-
риал и дать расчет резистора заданного номинала и точности.
Основные теоретические сведения
Электрофизические свойства тонких пленок существенно отличаются
от свойств массивного металла (чем тоньше пленка, тем сильнее отли-
чаются ее свойства). Характер
изменения поверхностного сопро-
тивления пленки от ее толщины
показан на рис. 1.1.
Кривая зависимости поверхно-
стного сопротивления имеет че-
тыре характерных участка.
Сверхтонкая пленка (при толщи-
не пленки менее 5–10 нм) не яв-
ляется сплошной, а состоит из от-
дельных изолированных
островков, поэтому свободные
электроны не могут перемещаться в пленке, как в объеме металла. Элек-
тропроводность ее чрезвычайно мала и неустойчива, так как обусловле-
на холодной эмиссией электронов в зазорах между островками (туннель-
ной проводимостью). При толщине 10–20 нм, которая называется первой
10
4
2
1
0
20 40 60 80
d, нм
6
пл
ρ10,Ом м×⋅
Рис. 1.1
