Аэрокосмические фотоприемные устройства в видимом и инфракрасном диапазонах. Формозов Б.Н. - 46 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

СПб ГУАП | Санкт-Петербург

Составители: 

Рубрика: 

46
изучение. Объемный канал уже не является обедненным неосновными
иосителями, так что ввод "жирного нуля" не требуется.
Соответственно, σ
ш
ПЗС с поверхностным каналом переноса заря-
дов, как минимум, на
–
1000 e
больше σ
ш
ПЗС с объемным каналом.
Все ПЗС-матрицы имеют трехфазное управление. Система поликрем-
ниевых шин, создающих потенциальные ямы для накопления зарядов и
организующие их перенос, закрывают всю поверхность фоточувстви-
тельного кремния. Поликремний имеет низко е пропускание в синей об-
ласти спектра 0,45–0,40 мкм.
Изобретены ПЗС с вирту альной фазой, где вместо третьего поли-
кремниевого электрода используется ионно-легированный слой, созда-
ющий постоянную яму. Этот участок кремния открыт для света, поэто-
му чувствительность ПЗС-матриц с виртуальной фазой в синей облас-
ти спект р а значительно выше, η ≈ 15–20 % на λ = 0,40 мкм, а область
спектральной чувствительности простирается до 0,2 мкм.
Ïðîáëåìà ñîçäàíèÿ ÈÊ–ÏÇÑ. ÈÊ-ïðèåìíèêè íà
îñíîâå ÏÇÑ ñ äèîäàìè íà áàðüåðàõ Øîòòêè
Приведем типичную техническую характеристику малокадрового
ФПЗС (T ≤ 80,0 К):
– напряжение насыщения – 0,5В;
– напряжение темнового сигнала, приведенное к напряжению на-
сыщения – 1 % ;
– неравномерность чувствительности – 5 %;
– динамический диапазон – 1000–1500 %;
– пороговая энергетическая освещенность – 3⋅10
–10
Вт/см
2
– глубина модуляции при передаче 200 ТВ линий – 60 %;
– среднеквадратичное значение σ
ш
(поверхностный канал) –
100 e
–
/выборку;
– σ
ш
( объемный канал) – 20–30 е
–
;
– емкость ямы – 2⋅10
6
е
–
;
– квантовая эффективностъ в спектральном интервале ∆λ = 0,4–
0,8 мкм – 15–20 %;
– на λ = 0,56 мкм – до 50 %.
Попытки создать качественные ИК-ПЗС на основе примесной про-
водимости Si еще никому не уда лись. По этому в последнее время все
чаще применяют гибридные приборы на основе БИС ПЗС, используе-

Страницы