Аэрокосмические фотоприемные устройства видимого и инфракрасного диапазонов. Формозов Б.Н. - 48 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Металл

Окисел

Неосновные носители

Обедненный слой

Подложка из р-кремния

Область

стоп-

диффузии

а)

б)

Сигнальный заряд

Пустая яма

Поверхностный

потенциал

Рис. 6.3.

Основой многих приборов с переносом заряда является конденсатор

со структурой метал–окисел–полупроводник (МОП-конденсатор).

На рис. 63, а изображен МОП-конденсатор: металлический элект-

род, нанесенный на термически окисленную подложку из р-кремния.

Если в некоторый момент времени к металлическому электроду прило-

жить положительное напряжение относительно подложки, то основные

носители (дырки) в слое кремния, прилегающем к границе с окислом,

будут отталкиваться от электрода и покинут этот слой. При этом на

границе раздела окисел–кремний образуется потенциальная яма для но-

сителей противоположного типа (электронов), которая вначале будет

пуста, т. е. обеднена подвижными носителями. Распространение по-

тенциальной ямы вдоль поверхности кремния (т. е. границы раздела)