Материаловедение и материалы электронных средств. Фролова Т.Н. - 6 стр.

UptoLike

Составители: 

6
d
l
p
d
ср
)1(
8
3
1 +=
ρ
ρ
, (1.10)
где ρ
d
удельное электрическое сопротивление металлической пленки
толщиной
d, м; рпараметр зеркальности, который зависит от качества
поверхности.
Так как характер зарождения и роста пленок зависит от множества
факторов, на практике трудно получить точное совпадение значений ρ
d
для
пленок одинаковой толщины. Поэтому для сравнительной оценки прово-
дящих свойств тонких пленок, осажденных при идентичных условиях, ис-
пользуют параметрудельное поверхностное сопротивление ρ
s
. Удельное
поверхностное сопротивлениеэто
сопротивление квадрата пленки R
кв
:
d
R
d
s
ρ
==ρ
кв
, Ом. (1.11)
Так как R
кв
не зависит от размера квадрата, сопротивление пленочно-
го резистора можно рассчитать по формуле
ф
Kρ=ρ=
ss
b
l
R
, Ом, (1.12)
где l
0
длина резистора в направлении прохождения тока, м; bширина
резистора, м
2
; K
ф
= l/bкоэффициент формы резистора.
Температурный коэффициент удельного сопротивления. В диапа-
зоне температур, где зависимость ρ от Т близка к линейной, справедливо
выражение
)]TT(1[
00
α+
ρ
=
ρ
ρ
, Ом·м, (1.13)
где ρ
0
удельное сопротивление вначале температурного диапазона,
α
ρ
= (ρρ
0
)/(ρ
0
(TT
0
)) – средний температурный коэффициент удельного
сопротивления в данном диапазоне температур, К
-1
; ρудельное сопро-
тивление при температуре Т.
Теплопроводность металлов. В металлах благодаря высокой кон-
центрации свободных электронов преобладает электронная теплопровод-
ность. Экспериментальный закон ВидеманаФранца устанавливает связь
между удельной теплопроводностью λ, Вт
мК
-1
,
и удельной электрической
проводимостью γ, См·м
–1
Tа =
γ
λ
, (1.14)