Материаловедение и материалы электронных средств. Фролова Т.Н. - 6 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВлГУ | Владимир

Составители: 

Рубрика: 

6
d
l
p
d
ср
)1(
8
3
1 −+=
ρ
ρ
, (1.10)
где ρ
d
– удельное электрическое сопротивление металлической пленки
толщиной
d, м; р – параметр зеркальности, который зависит от качества
поверхности.
Так как характер зарождения и роста пленок зависит от множества
факторов, на практике трудно получить точное совпадение значений ρ
d
для
пленок одинаковой толщины. Поэтому для сравнительной оценки прово-
дящих свойств тонких пленок, осажденных при идентичных условиях, ис-
пользуют параметр – удельное поверхностное сопротивление ρ
s
. Удельное
поверхностное сопротивление – это
сопротивление квадрата пленки R
кв
:
d
R
d
s
ρ
==ρ
кв
, Ом. (1.11)
Так как R
кв
не зависит от размера квадрата, сопротивление пленочно-
го резистора можно рассчитать по формуле
ф
K⋅ρ=ρ=
ss
b
l
R
, Ом, (1.12)
где l
0
– длина резистора в направлении прохождения тока, м; b – ширина
резистора, м
2
; K
ф
= l/b – коэффициент формы резистора.
Температурный коэффициент удельного сопротивления. В диапа-
зоне температур, где зависимость ρ от Т близка к линейной, справедливо
выражение
)]TT(1[
00
−α+
ρ
=
ρ
ρ
, Ом·м, (1.13)
где ρ
0
– удельное сопротивление вначале температурного диапазона,
α
ρ
= (ρ – ρ
0
)/(ρ
0
(T – T
0
)) – средний температурный коэффициент удельного
сопротивления в данном диапазоне температур, К
-1
; ρ – удельное сопро-
тивление при температуре Т.
Теплопроводность металлов. В металлах благодаря высокой кон-
центрации свободных электронов преобладает электронная теплопровод-
ность. Экспериментальный закон Видемана – Франца устанавливает связь
между удельной теплопроводностью λ, Вт
⋅мК
-1
,
и удельной электрической
проводимостью γ, См·м
–1
Tа ⋅=
γ
λ
, (1.14) 
                                ρd         3        lср
                                     = 1 + (1 − p)        ,          (1.10)
                                 ρ         8          d
где ρd – удельное электрическое сопротивление металлической пленки
толщиной d, м; р – параметр зеркальности, который зависит от качества
поверхности.
       Так как характер зарождения и роста пленок зависит от множества
факторов, на практике трудно получить точное совпадение значений ρd для
пленок одинаковой толщины. Поэтому для сравнительной оценки прово-
дящих свойств тонких пленок, осажденных при идентичных условиях, ис-
пользуют параметр – удельное поверхностное сопротивление ρs. Удельное
поверхностное сопротивление – это сопротивление квадрата пленки Rкв:
                                               ρ
                                 ρ s = Rкв = d , Ом.                 (1.11)
                                                d
       Так как Rкв не зависит от размера квадрата, сопротивление пленочно-
го резистора можно рассчитать по формуле
                                        l
                               R = ρ s = ρ s ⋅ K ф , Ом,             (1.12)
                                        b
где l0 – длина резистора в направлении прохождения тока, м; b – ширина
резистора, м2; Kф = l/b – коэффициент формы резистора.
       Температурный коэффициент удельного сопротивления. В диапа-
зоне температур, где зависимость ρ от Т близка к линейной, справедливо
выражение
                              ρ = ρ0 [1 + α ρ (T − T0 )] , Ом·м,     (1.13)
где ρ0 – удельное сопротивление вначале температурного диапазона,
αρ = (ρ – ρ0)/(ρ0(T – T0)) – средний температурный коэффициент удельного
сопротивления в данном диапазоне температур, К-1; ρ – удельное сопро-
тивление при температуре Т.
      Теплопроводность металлов. В металлах благодаря высокой кон-
центрации свободных электронов преобладает электронная теплопровод-
ность. Экспериментальный закон Видемана – Франца устанавливает связь
между удельной теплопроводностью λ, Вт⋅мК-1, и удельной электрической
проводимостью γ, См·м–1
                                      λ
                                        = а ⋅T ,                   (1.14)
                                      γ




                                     6

Страницы