Материаловедение и материалы электронных средств. Фролова Т.Н. - 6 стр.

                                ρd         3        lср
                                     = 1 + (1 − p)        ,          (1.10)
                                 ρ         8          d
где ρd – удельное электрическое сопротивление металлической пленки
толщиной d, м; р – параметр зеркальности, который зависит от качества
поверхности.
       Так как характер зарождения и роста пленок зависит от множества
факторов, на практике трудно получить точное совпадение значений ρd для
пленок одинаковой толщины. Поэтому для сравнительной оценки прово-
дящих свойств тонких пленок, осажденных при идентичных условиях, ис-
пользуют параметр – удельное поверхностное сопротивление ρs. Удельное
поверхностное сопротивление – это сопротивление квадрата пленки Rкв:
                                               ρ
                                 ρ s = Rкв = d , Ом.                 (1.11)
                                                d
       Так как Rкв не зависит от размера квадрата, сопротивление пленочно-
го резистора можно рассчитать по формуле
                                        l
                               R = ρ s = ρ s ⋅ K ф , Ом,             (1.12)
                                        b
где l0 – длина резистора в направлении прохождения тока, м; b – ширина
резистора, м2; Kф = l/b – коэффициент формы резистора.
       Температурный коэффициент удельного сопротивления. В диапа-
зоне температур, где зависимость ρ от Т близка к линейной, справедливо
выражение
                              ρ = ρ0 [1 + α ρ (T − T0 )] , Ом·м,     (1.13)
где ρ0 – удельное сопротивление вначале температурного диапазона,
αρ = (ρ – ρ0)/(ρ0(T – T0)) – средний температурный коэффициент удельного
сопротивления в данном диапазоне температур, К-1; ρ – удельное сопро-
тивление при температуре Т.
      Теплопроводность металлов. В металлах благодаря высокой кон-
центрации свободных электронов преобладает электронная теплопровод-
ность. Экспериментальный закон Видемана – Франца устанавливает связь
между удельной теплопроводностью λ, Вт⋅мК-1, и удельной электрической
проводимостью γ, См·м–1
                                      λ
                                        = а ⋅T ,                   (1.14)
                                      γ




                                     6