Физические основы микроэлектроники. Гатько Л.Е - 45 стр.

UptoLike

45
s
s
n-тип
р-тип
Собственный
p
n
Рис. 5.5
основных и неосновных носителей соответственно. Поверхностная
проводимость, характеризующая поверхностный обедненный слой,
будет меньше, чем при инверсии или аккумуляции, и имеет
минимальное значение, при котором в области пространственного
заряда находится незначительное число свободных носителей.
Поверхностная проводимость равна нулю, когда
0pn
=
=
(5.16)
и также в том случае, когда
np
p
n
µ
µ
= (5.17)
Поверхностная проводимость достигает минимума при
(
)
(
)
sp
n
s
np
∂ϕ
µ
µ
∂ϕ
= . (5.18)