Лазерный призменный интерферометр. Голубенцева Л.И - 4 стр.

UptoLike

Рубрика: 

4
Оптическая схема призменного интерферометра
В настоящей работе для контроля формы полированных пластин используется
призменный интерферометр, оптическая схема которого изображена на рис.1. Источником
излучения служит гелий-неоновый лазер Л, дающий тонкий пространственно когерентный
гауссов пучок света высокой степени монохроматичности с длиной волны λ = 632,8 нм. С
помощью положительной микролинзы L
1
(микрообъектива) и длиннофокусной
положительной линзы L
2
лазерный пучок расширяется до необходимых размеров. Линзы L
1
и L
2
образуют телескопическую систему, формирующую параллельный (коллимированный)
лазерный пучок, который с помощью поворотного зеркала M
1
направляется на катетную
грань прямоугольной призмы R , расположенной ребром вниз. Испытав незначительное (
4%) отражение от этой грани, лазерный пучок проникает внутрь призмы и попадает на
гипотенузную грань под углом, несколько меньшим угла полного внутреннего отражения.
Поэтому часть лазерных лучей проходит через гипотенузную грань призмы и освещает
контролируемую деталь B . Отраженные от детали лучи вновь возвращаются в призму.
Таким образом, на вторую катетную грань призмы падают и выходят из призмы уже два
лазерных пучка - две световые волны: одна - отраженная гипотенузной гранью призмы,
вторая - отраженная поверхностью детали.
Рис.1. Оптическая схема лазерного призменного интерферометра
с видеоконтрольным устройством.