Лазерный призменный интерферометр. Голубенцева Л.И - 5 стр.

UptoLike

Рубрика: 

Лазерный призменный интерферометр
5
Эти волны взаимно когерентны и, перекрываясь в пространстве, образуют
интерференционную картину, наблюдаемую во всей области перекрытия. Делительная
пластинка ДП с приблизительно 50% отражающим покрытием
оба пучка света, вышедшие
из призмы, направляет на матовое стекло G
1
, где наблюдается интерференционная картина.
Непрозрачный экран G
2
служит для блокирования лазерных лучей, проходящих мимо
объекта B .
В качестве дополнительного средства наблюдения интерференционной картины
используется видеоконтрольное устройство, включающее телекамеру ТК и монитор ТМ.
Пучки света, прошедшие через делительную пластинку ДП, зеркалом М
2
направляются на
объектив L
3
, а затем на входное окно телекамеры ТК. На экране монитора ТМ формируется
изображение объекта с интерференционными полосами.
Все элементы и блоки интерферометра с помощью рейтеров крепятся к рельсу малой
оптической скамьи. Прямоугольная призма R в данном интерферометре служит для деления
исходной световой волны на два пучка света и последующего их сведения, а также
выполняет роль держателя контролируемой детали. Гипотенузная грань призмы является
поверхностью сравнения - опорной поверхностью, поскольку отраженная от нее световая
волна интерферирует с волной, отраженной от контролируемой детали. Форма
интерференционных полос определяется различием в форме поверхностей, а число полос
дает количественную характеристику этого различия. Гипотенузная грань призмы
обработана с высокой точностью и является почти идеальной плоскостью, поэтому с
помощью данного интерферометра можно определять профиль отклонения от плоскости
(неплоскостность) тех или иных поверхностей.
Вывод рабочей формулы
Определим оптическую разность хода световых лучей в призменном интерферометре.
Для этого проследим ход лучей в призме и воздушном зазоре между гипотенузной гранью и
поверхностью контролируемой детали. Рассмотрим два произвольных луча - 1 и 2 (рис.2),
падающих под углом i на катетную грань АВ и соответственно под углом β на
гипотенузную грань BC призмы. Луч 1 в точке K выходит из призмы под углом α ,
отражается в точке L от поверхности детали и возвращается в призму в точке M , где
встречается с лучом 2. Далее лучи 1 и 2 распространяются совместно и выходят из призмы