Оптоэлектроника и волоконная оптика. Гуртов В.А. - 47 стр.

ного распыления. Данный метод впервые был разработан фирмой Philips.
    Поскольку зона образования газа может быстро перемещаться по трубке, в
короткий отрезок времени возможно нанести сравнительно большое количес-
тво тонких слоев, производя в результате однородные профили без видимых
границ перехода от слоя к слою.

3.3.2. OVD-метод (outside vapor deposition)
    Другой метод, которым пользуется фирма Corning, называют еще вне-
шним осаждением (в отличие от первого — внутреннего): стекло осаждается
на огнеупорный стержень прямо из пламени горелки, куда подаются хлориды
исходных веществ.
    Поскольку осаждение происходит в атмосфере пламени, в таком материа-
ле остается много воды, получившейся в результате окисления водорода. Поэ-
тому, после того как центральный стержень вынимают, приходится продувать
заготовку хлором, который экстрагирует воду. И только после этого заготовка
остекловывается.
    Перечисленные выше три фазы процесса, а именно: осаждение на огне-
упорный стержень, сушка и остекловывание — происходят последовательно.
Поэтому каждая фаза может быть оптимизирована отдельно, что позволяет до-
стичь высокой скорости осаждения материала.
    Кроме того, скорость осаждения увеличивается, так как поверхность под-
кладки увеличивается с каждым последующим слоем, что является положи-
тельным коэффициентом в увеличении относительной скорости процесса.
Высокая производительность наплавки (4,3 г/мин) соответствует производи-
тельности 5 км/ч.




                                      47