Моделирование радиационных эффектов в структурах металл-диэлектрик-полупроводник. Иванков Ю.В - 28 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

На рис.3 показан характер зависимости накопленного положительного заряда от времени термического
воздействия . Выход на пологий участок кривой свидетельствует о полном отжигании заряда, накопленного
на уровне мелких ловушек.
Влияние примеси фосфора на термостабильную часть радиационного
заряда представлено на рис.4. расчетными зависимостями значений
накопленного термостабильного заряда от концентраций примеси фосфора в
диэлектрике МДП-структуры (концентрация мелких ловушечных уровней
N
t1
= 5⋅10
18
см
-3
,
концентрация глубоких ловушечных уровней N
t2
= 10
18
;
3⋅10
18
; 5⋅10
18
; 7⋅10
18
; 10
19
см
-3
для кривых 1,2,3,4,5 соответственно ). Следует
отметить линейный характер зависимости термостабильного заряда от
концентрации фосфора в диэлектрике.
Рис.3 Изменение радиационно - индуцированного дырочного заряда при
различных температурных воздействиях.
Температура отжига : 1 – 700 К , 2 - 650 К , 3 – 600 К.
0,00E+00
5,00E+10
1,00E+11
1,50E+11
2,00E+11
2,50E+11
3,00E+11
3,50E+11
4,00E+11
4,5
0E+11
10
рад
5
0 30 мин
0
1
2
3
П л отн ость эффективн ого заряда Q
0t
, см
    Н арис.3 п о казан характер зависимо сти нако п ленно го п о ло жит
                                                                      ельно г
                                                                            о зарядао твремени термическо г
                                                                                                          о
во здей ствия . В ы хо д нап о ло г
                                  ий участ
                                         о к криво й свидетельствуето п о лно м о тж иг
                                                                                      ании заря да, нако п ленно г
                                                                                                                 о
науро вне мелких ло вушек.

     В лия ние п римеси фо сфо ра на термо стабильную часть радиац ио нно г    о
заря да п редставлено на рис.4. расчетны ми зависимо стям и           значений
нако п ленно г о термо стабильно го заря дао тко нцентраций п римеси фо сфо рав
диэлектрике М Д П -структуры (ко нцентрац ия мелких ло вушечны х уро вней
Nt1 = 5⋅1018 см -3, ко нцентрация г лубо ких ло вушечны х уро вней Nt2 = 1018;
     18      18       18   19  -3
3⋅10 ; 5⋅10 ; 7⋅10 ; 10 см для кривы х 1,2,3,4,5 со о тветственно ). Следует
о тметить линей ны й характер зависимо сти термо стабильно г       о заря да о т
ко нцентрации фо сфо равдиэлектрике.



                                                     4,50E+11

                                                     4,00E+11
                                   аряда Q0t, см-3




                                                     3,50E+11

                                                     3,00E+11                               1
        П л отн ость эффективн ого з




                                                                                        2
                                                     2,50E+11
                                                                                    3
                                                     2,00E+11


                                                     1,50E+11

                                                     1,00E+11

                                                     5,00E+10
                                                                          0                                30 мин
                                                     0,00E+00
                                                                0    10
                                                                          5   рад




        Рис.3 И зменение радиацио нно -индуциро ванно г     о ды ро чно го заря да п ри
различны х тем п ературны х во здей ствия х.
Т ем п ературао тж ига: 1 – 700 К , 2 - 650 К , 3 – 600 К .

Страницы