Моделирование радиационных эффектов в структурах металл-диэлектрик-полупроводник. Иванков Ю.В - 35 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

С О Д Е Р Ж А Н И Е
Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1. Природа радиационных дефектов в системе Si-SiO
2
. . . . . . . . . . . 3
2. Механизмы образования радиационного заряда в
диэлектрических слоях МДП-структур . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3. Численное моделирование образования
радиационного заряда в диэлектрике МДП-структуры . . . . . . . . 10
4. Анализ закономерностей процессов формирования
радиационного заряда в диэлектрике облучаемой МДП-структуры ,
установленные на основе численного моделирования . . . . . . . . . . . . . .17
5. Релаксационные процессы в облученной структуре
металл- диэлектрик - полупроводник . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19
6. Численное моделирование релаксационных процессов
в структуре металл- диэлектрик- полупроводник . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .22
7. Анализ релаксации радиационно - индуцированного заряда
в подзатворном диэлектрике под воздействием
термического отжига и УФ - квантов ближнего спектра . . . . . . . . . . . 25
8. Литература . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Содержание . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 
                                      СО Д Е Р Ж А Н И Е

  В ведение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1. П риро дарадиацио нны х дефекто ввсистеме Si-SiO2 . . . . . . . . . . . 3
2. М еханизмы о бразо вания радиац ио нно го заря дав
   диэлектрических сло я х М Д П -структур . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3. Ч исленно е мо делиро вание о бразо вания
   радиацио нно го заря давдиэлектрике М Д П -структуры . . . . . . . .                       10
4. А нализзако но мерно стей п ро цессо вфо рмиро вания
   радиацио нно г  о заря давдиэлектрике о блучаемо й М Д П -структуры ,
   устано вленны е нао сно ве численно г   о мо делиро вания . . . . . . . . . . . . . .17
5. Релаксацио нны е п ро ц ессы во блученно й структуре
   металл-диэлектрик-п о луп ро во дник . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19
6. Ч исленно е мо делиро вание релаксац ио нны х п ро цессо в
   вструктуре металл-диэлектрик-п о луп ро во дник . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .22
7. А нализрелаксации радиацио нно -индуциро ванно г       о заря да
    вп о дзатво рно м диэлектрике п о д во здей ствием
    термическо г  о о тж игаи У Ф - кванто вближ него сп ектра. . . . . . . . . . . 25
8. Л итература . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

С о де р ж а н ие . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

Страницы