Физический эксперимент в микроэлектронике. Иванов В.П - 24 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Контроль предварительного разрежения ведут с помощью термопарного манометрического
преобразователя (рис. 6.3, а). Это стеклянный (ПМТ-2) или стальной (ПМТ-4) корпус, соединенный
с вакуумной системой. Внутри него помещен тонкий проволочный резистор 1, нагреваемый посто-
янным током накала, и прецизионная термопара 2, контролирующая температуру этого сопротив-
ления.
Термо-эдс, измеряемая милливольтметром термопарной части прибора ВИТ-3, зависит от давления
остаточных газов в вакуумной системе. Чем выше вакуум, тем меньше молекулы газов охлаждают рези-
стор, тем ближе термопара к номинальной температуре (100 делений шкалы равны 10 мВ ТЭДС термо-
пары). Рабочий диапазон такого датчика 10
-1
…10
-3
торр.
В состоянии поставки лампа ПМТ-2 запаяна (вакуум 1 ⋅ 10
-5
торр). После подсоединения лампы к разъ-
ему включают ВИТ-3 (тумблер «род работы» в положение «вкл») и левым тумблером на термопарной
панели прибора
Рис. 6.3 Датчики для измерения вакуума:
а – низкого: 1 – нить накала; 2 – термопара;
б – высокого: 1 – корпус; 2 – катод; 3 – анод; 4 – коллектор;
5 – высоковольтный контакт
устанавливают режим работы «Измерения». Рукояткой «Ток нагревателя» (резистор R на рис. 6.3, а) ус-
танавливают стрелку прибора на конец верхней шкалы «10». Переключают тумблер в режим работы
«Ток нагревателя» и по нижней шкале определяют и записывают рабочий ток накала.
Затем запаянный конец лампы ПМТ-2 отрезают и с помощью резинового уплотнения присоединяют
ее к откачиваемому объему (лампа ПМТ-4 – открытая, ее ток накала указан маркировкой на металличе-
ском корпусе).
Для контроля высокого вакуума применяют ионизационный преобразователь ПМИ-2 (рис. 6.3,
б), в стеклянном корпусе 1 которого коаксиально расположен цилиндрический коллектор ионов 4,
анод в виде спирали 3 и V-образный катод 2. Ее запаянный конец отрезают и монтируют в вакуум-
ную установку.
Измерение вакуума основано на ионизации молекул газа в промежутке катод-анод электронами,
эмитированными нагретым катодом. Положительные ионы движутся к коллектору 4, который находит-
ся под отрицательным потенциалом 250 вольт (контакт 5). Их концентрация пропорциональна количе-
ству молекул остаточной атмосферы. Поэтому величина ионного тока пропорциональна давлению газа
в системе при условии, что оно не выше 10
-3
торр, а эмиссионный ток поддерживается постоянным.
Перед включением ионизационной части ВИТ-3 сначала надо убедиться, что в вакуумном объеме
давление не выше 10
-3
торр (в противном случае катод сгорит), ВИТ-3 прогрет 2…3 мин, переключатель
«Шкала прибора» стоит в положении 10
-5
, а резисторы «Установка нуля» и «Установка тока эмиссии» в
крайне левом положении. Затем следует повернуть переключатель «Род работы» в положение «Ток
эмиссии». При этом загорается сигнальная лампа «ПМИ-2» и лампа «Защита – перегрузка». Для снятия
пусковой перегрузки следует кратковременно нажать вниз одноименный тумблер.
5
1
1
2
4
3
2
R
б) а)

Страницы