Физический эксперимент в микроэлектронике. Иванов В.П - 25 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

После этого резистором «Установка тока эмиссии» стрелка микроамперметра выводится на деление
«5» (500 мка). Затем переключатель «Род работы» устанавливают в положение «Измерение» и прогре-
вают прибор ВИТ-3 в течение 30 мин до готовности.
Перед началом измерений кнопкой «Проверка нуля» и резистором «Установка нуля» настраивают
усилитель постоянного тока ионизационной схемы.
Затем переключателем «Шкала прибора» устанавливают сначала обзорную шкалу (нижняя на мик-
роамперметре), а затем подходящий множитель (10
-5
, 10
-6
, ..., 10
-9
) для определения величины ионного
тока по верхней шкале прибора.
Величина давления рассчитывается по формуле
Р = С I,
где Р – давление, торр; I – ионный ток, А; С = 100 торр/А – постоянная ПМИ-2.
При длительной работе периодически производят обезгаживание лампы ПМИ-2, для чего повора-
чивают переключатель «Род работы» в положение «Прогрев». При этом спираль анода нагревается до
высокой температуры в течение 3…5 мин. Контроль осуществляется по шкале с множителями не ниже
10
-7
.
Примечание: При зашкаливании микроамперметра и загорании индикатора «Перегрузка» сле-
дует перейти к более грубой шкале (10
-5
, 10
-6
). Если при этом ошибка не устраняется, следует выклю-
чить прибор.
Порядок работы
I ИЗУЧЕНИЕ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ УСТАНОВКИ УВР-3М
Она состоит (рис. 6.4) из рабочего объема (колпака) 1, диффузионного 2 и механического 5 на-
сосов, форбаллона 3 и распределительной коробки 4. Вакуумная коробка состоит из трех подпру-
жиненных клапанов со сферическими головками, упирающимися в рабочий вал. При его повороте
одна из них попадает в углубление на поверхности вала и соответствующий ей клапан открывается.
Коробка постоянно соединена с механическим насосом и через клапаны – с атмосферой (А); с фор-
баллоном (В) или с рабочим объемом (Н).
Рис. 6.4 Схема вакуумной системы УВР-3М:
1 – рабочий объем; 2 –диффузионный насос; 3 – форвакуумный баллон;
4 – клапанная коробка; 5 – форвакуумный насос; 6 – датчики низкого вакуума;
7 – датчик высокого вакуума; 8 – клапан – отсекатель;
9 – клапан напуска воздуха в рабочий объем
1
8
4
6
9
5
7
2
3
6

Страницы