Физический эксперимент в микроэлектронике. Иванов В.П - 27 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Это связано с возможностью случайного напуска атмосферы в колпак и горячий дифнасос (что
недопустимо!).
9 Повторить операции 7 и 8 до достижения предварительного вакуума в колпаке (40 – 50 делений
шкалы термопарной части прибора
ВИТ-3) и рабочего разогрева дифнасоса.
10 Переключить распределительную коробку в положение «В». Тумблер «Клапан – отсека-
тель» установить в положение «Открыто». При этом соленоид выключается, и пружина открывает
клапан – отсекатель.
В этот момент вакуум в колпаке (включена лампа ПМТ) увеличивается, а в форбаллоне – падает.
Если вакуум в форбаллоне очень низкий (стрелка ВИТ-3 приближается к красному делению шкалы),
следует закрыть клапан – отсекатель и продолжить разогрев дифнасоса.
Контроль осуществляется лампой ПМТ-2 на колпаке и термопарной частью прибора ВИТ-3 до 80 –
90 делений шкалы. Затем надо включить ионизационную часть ВИТ-3 и лампу ПМИ-2. В штатном ре-
жиме откачка высокого вакуума продолжается 15…20 мин до достижения в колпаке давления 1 ⋅ 10
-
4
…5 ⋅ 10
-4
мм. рт. ст.
III Изучить порядок выключения вакуумной системы.
1 Выключить ионизационную часть ВИТ-3.
2 Тумблер «Клапан – отсекатель» поставить в положение «Закрыт».
Рабочий объем изолирован от системы откачки. Вакуум в нем начинает медленно падать за счет на-
текания атмосферы через микрощели в вакуумных уплотнениях.
3 Тумблер «Высокий» поставить в положение «Выключено».
После выключения электронагревателя дифнасос охлаждается проточной водой через его «рубаш-
ку» в течение 50…60 мин (до 30…40 °С). Откачка вакуума из форбаллона механическим насосом про-
должается до полного остывания.
4 Закрыть магистральный водяной вентиль.
5 Переключить коробку в положение «Закрыто» (З).
6 Выключить механический насос (тумблер «Низкий» – в положение «Выключено»).
7 Переключить клапанную коробку в положение А.
При этом производится напуск атмосферы в клапанную коробку и в форнасос. В противном случае,
противодавление атмосферы вызывает вытеснение вакуумного масла из насоса в трубопровод и
объем клапанной коробки, что выводит их из строя.
Примечание: Напуск воздуха в рабочий объем производится тумблером «Воздух под колпак» –
положение «Вкл.» при проведении монтажных работ в колпаке. При выключении установки в колпаке
должно оставаться небольшое разрежение. Напуск воздуха в дифнасос и форбаллон производится толь-
ко при ремонте и обслуживании установки.
Задание
1 Определить ток накала лампы ПМТ-2 с помощью термопарной части ВИТ-3.
2 Измерить натекание атмосферы в рабочий объем после получения высокого вакуума и закрывания
клапана – отсекателя с помощью термопарного манометрического преобразователя в течение 20
мин (шаг измерения – 1 мин).
Содержание отчета
1 Схема работы форвакуумного и паромасляного насосов.
2 Схема вакуумной установки.
3 График натекания атмосферы в рабочий объем.
Контрольные вопросы
1 Получение и измерение низкого вакуума.

Страницы