Физический эксперимент в микроэлектронике. Иванов В.П - 26 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Свечение одной из букв («А», «З», «В», «Н») дисплея на панели «УПРАВЛЕНИЕ МЕХАНИЗМА-
МИ ПОСТА» УВР-3М показывает положение клапанной коробки (рис. 6.5, светящаяся буква – на чер-
ном фоне). Направление вращения вала (а значит и порядок открытия клапанов) задается реверс – тумб-
лером ВНАЗ , а его включение осуществляется кратковременным нажатием вниз тумблера «Пуск». Фор-
вакуумный баллон обеспечивает устойчивость работы диффузионного насоса, обеспечивая необходи-
мый уровень низкого вакуума на его выходе, даже при отключении механического насоса.
Высоковакуумный насос установлен в комплекте с масляной ловушкой на опорной плите рабочего
объема и отделен от него клапаном – отсекателем 8. При включении электрического питания установки
соленоид втягивает в себя стальной стакан отсекателя, верхняя часть которого (кольцевой нож) упира-
ется во фторопластовое вакуумное уплотнение, надежно изолируя объем дифнасоса. Если затем в кол-
пак будет напущен воздух, то даже при выключенном соленоиде клапан – отсекатель будет закрыт
противодавлением.
Рис. 6.5 Положение клапанов вакуумной коробки
Электрическая блокировка не позволяет случайно напустить воздух в колпак (электромагнитный
клапан 9) при открытом клапане – отсекателе.
Низкий вакуум контролируется лампами ПМТ, установленными на форбаллоне и рабочем объеме 6.
Ионизационная лампа ПМИ-2 устанавливается в верхней части дифнасоса 7.
II Изучить порядок включения УВР-3М.
1 Включить питание УВР-3М тумблером «Сеть» и проверить его исправность (загораются цифры
«1», «2», «3», обозначающие три фазы силовой цепи).
В исходном состоянии в колпаке и дифнасосе – остаточный вакуум, в форнасос и коробку напущен
воздух (на дисплее горит «А»).
Проверить положение управляющих переключателей:
• тумблеры «Клапан – отсекатель» в положении «Закрыто»,
• тумблеры «Воздух под колпак», «Вакуум низкий» и
«Высокий « находятся в нижнем положении, что соответствует – «выключено».
2 Повернуть переключатель «ВНАЗ» в правое положение и, нажав «Пуск» вниз, перевести клапанную
коробку в положение «3» (все клапаны закрыты).
3 Включить форнасос тумблером «Низкий» и откачать его внутренний объем 2…3 мин.
4 При том же положении реверс – тумблера «ВНАЗ» нажатием вниз «Пуск» перевести коробку в
положение «В». При этом производится откачка низкого вакуума в форбаллоне и дифнасосе до 30 – 40
делений шкалы термопарной части прибора ВИТ-3.
5 После достижения указанного предварительного вакуума включить водяное охлаждение дифна-
соса: открыть магистральный вентиль; проверить сток воды в сливном шланге – струя должна быть не-
прерывной и сильной.
6 Тумблером «Высокий» включить нагревательный элемент дифнасоса. Время выхода на рабочий
режим – 30…40 мин.
7 Не прекращая разогрев высоковакуумного насоса, откачать низкий вакуум из рабочего объема.
Для этого тумблером «Пуск» открыть клапан «Н». В течение 3…5 мин дифнасос может обходиться без
форнасоса – работает емкость форбаллона.
8 Вернуться в положение клапанной коробки «В». Для этого переключить реверс-тумблер «ВНАЗ»
влево и нажать «Пуск».
ВНИМАНИЕ ! Переход от позиции «Н» вправо – сразу к «А»
запрещен !

Страницы