ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
21
движении к поверхности зависят от пройденного пути, можно приписать каждой
энергии электронов определенный диапазон глубин, на которых они были рождены.
Движение электронов в твердом теле носит случайный характер из-за значительного
вклада процессов рассеяния, поэтому каждой глубине соответствует свой спектр
электронов конверсии.
Для селективных по глубине исследований необходимо иметь возможность
регистрировать различные группы энергий электронов. В практической реализации
СГМСКЭ возникает ряд трудностей.
Неустранимым фактором, ограничивающим селективность по глубине,
является большая ширина спектров электронов конверсии при удалении от
поверхности. Эти спектры характеризуются весовыми функциями – двумерной
функцией плотности вероятности. Весовая функция
( )
xET ,
есть плотность
вероятности, что электрон, рожденный на глубине
x
, выйдет на поверхность с
энергией
E
. Подставляя в эту функцию фиксированное значение глубины
x
,
получим энергетический спектр
( )
ET
x
электронов конверсии, рожденных на глубине
x
. Если зафиксировать
E
– получим функцию распределения электронов
( )
xT
E
по
глубине. Значения функции
( )
ET
x
будут показывать, какой вклад в формирование
электронов с энергией
E
дают различные слои пленки, или вес различных слоев по
отношению к электронам с энергией
E
.
Начиная с глубин 30-50 нм, ширина весовых функций
( )
ET
x
становится
сравнимой с разрешением лучших пропорциональных детекторов, а на глубинах
>100
нм превращается почти в горизонтальную прямую. Поэтому в СГМСКЭ
наиболее эффективным оказывается анализ приповерхностных слоев.
Задача получения зависимости мессбауэровских спектров от глубины
( )
xS
по
экспериментальным зависимостям от энергии электронов
( )
ES
описывается
следующим интегральным уравнением:
dxxETxSES ⋅⋅=
∫
∞
0
),()()(
.
Отметим, что под
( )
ES
и
( )
xS
понимаются мессбауэровские спектры, т.е. векторные
величины.
движении к поверхности зависят от пройденного пути, можно приписать каждой энергии электронов определенный диапазон глубин, на которых они были рождены. Движение электронов в твердом теле носит случайный характер из-за значительного вклада процессов рассеяния, поэтому каждой глубине соответствует свой спектр электронов конверсии. Для селективных по глубине исследований необходимо иметь возможность регистрировать различные группы энергий электронов. В практической реализации СГМСКЭ возникает ряд трудностей. Неустранимым фактором, ограничивающим селективность по глубине, является большая ширина спектров электронов конверсии при удалении от поверхности. Эти спектры характеризуются весовыми функциями – двумерной функцией плотности вероятности. Весовая функция T (E , x ) есть плотность вероятности, что электрон, рожденный на глубине x , выйдет на поверхность с энергией E . Подставляя в эту функцию фиксированное значение глубины x , получим энергетический спектр Tx (E ) электронов конверсии, рожденных на глубине x . Если зафиксировать E – получим функцию распределения электронов TE ( x ) по глубине. Значения функции Tx (E ) будут показывать, какой вклад в формирование электронов с энергией E дают различные слои пленки, или вес различных слоев по отношению к электронам с энергией E . Начиная с глубин 30-50 нм, ширина весовых функций Tx (E ) становится сравнимой с разрешением лучших пропорциональных детекторов, а на глубинах >100 нм превращается почти в горизонтальную прямую. Поэтому в СГМСКЭ наиболее эффективным оказывается анализ приповерхностных слоев. Задача получения зависимости мессбауэровских спектров от глубины S (x ) по экспериментальным зависимостям от энергии электронов S (E ) описывается следующим интегральным уравнением: ∞ S ( E ) = ∫ S ( x) ⋅ T ( E , x) ⋅ dx . 0 Отметим, что под S (E ) и S (x ) понимаются мессбауэровские спектры, т.е. векторные величины. 21
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 19
- 20
- 21
- 22
- 23
- …
- следующая ›
- последняя »