Оптическая низкокогерентная интерферометрия и томография. Кальянов А.Л - 53 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:



формируемые в них изображения могут быть взаимно когерентными и при определенных усло-

виях формировать интерференционную картину. Вид этой интерференционной картины несет

информацию о различиях в рельефе и структуре контролируемой и опорной поверхностей.

Устройство интерференционного микроскопа

Разработано несколько схемных решений для интерференционного микроскопа. Оптиче-

ская схема интерференционного микроскопа Линника приведена на рис. 2. В качестве источни-

ка излучения используется протяженный источник белого света S - лампа накаливания или све-

тоизлучающий диод. Осветительная система микроинтерферометра, состоящая из коллектора

L1, апертурной диафрагмы A, полевой диафрагмы F и конденсора L2 устроена таким образом,

что формирует изображение источника в передние фокальные плоскости микрообъективов

MO1 и MO2 так, что объект Obj и опорное зеркало M освещаются параллельными пучками лу-

чей, исходящими от разных точек источника и имеющих различный наклон относительно опти-

ческой оси, поскольку источник света имеет конечные размеры.

Рис. 2. Оптическая схема микроинтерферометра Линника: S – протяженный источ-

ник света, L1, L2, L3 – линзы, A, F – диафрагмы, MO1, MO2 – микрообъективы, BS

– светоделитель, Obj – объект, M – зеркало, O – окуляр, E - глаз наблюдателя.