Оптическая низкокогерентная интерферометрия и томография. Кальянов А.Л - 54 стр.

UptoLike

Рубрика: 

54
В обратном ходе лучей микрообъективы MO1 и MO2 строят изображения, соответствен-
но, объекта Obj и зеркала M в бесконечности. Предметное и опорное оптические поля интерфе-
рируют, образуя в бесконечности изображение с интерференционными полосами. При помощи
тубусной линзы L3 это изображение переносится в фокальную плоскость окуляра O. При этом
изображения поверхности объекта, поверхности опорного зеркала и плоскость локализации ин-
терференционных полос совмещены в одной плоскости.
Схема на рис. 2 по своей сути представляет собой модифицированный двухлучевой ин-
терферометр Майкельсона, особенность которого заключается в наличии идентичных микро-
объективов в обоих плечах, которые совместно с тубусной линзой и окуляром образуют два
частично совмещенных микроскопа.
Формирование интерференционной картины
Интерференционная картина, возникающая на выходе микроинтерферометра, может
быть рассмотрена как результат интерференции волн, распространяющихся от двух вторичных
источников, являющихся изображениями протяженного источника S (рис.3). Взаимное распо-
ложение этих источников определяет вид интерференционных полосих период и ориента-
цию.
Рис. 3. К процессу формирования интерференционной картины
на выходе микроинтерферометра: S' и S'' – вторичные источни-
ки, смещенные друг относительно друга, dS' и dS'' – соответст-
венные элементарные точечные источники на поверхности вто-
ричных источников S' и S'', r – расстояние, на которое один ис-
точник смещен относительно другого, L3 – тубусная линза, FP
фокальная плоскость тубусной линзы L3, совмещенная с фо-
кальной плоскостью окуляра
.