Составители:
Рубрика:
56
нечной ширины служит наклон зеркала в одном из плеч интерферометра на малый угол, в ре-
зультате чего разность хода между интерферирующими полями изменяется в направлении,
перпендикулярном оси наклона одного зеркала относительно другого.
Этот способ можно применить и в интерференционном микроскопе. Однако наклон зер-
кала M в опорном плече микроинтерферометра будет приводить не только к смещению изо-
бражения вторичного источника, даваемого микрообъективом MO2, но и к растяжению этого
изображения в направлении, перпендикулярном оси наклона зеркала M, что приводит к его де-
корреляции по отношению ко вторичному источнику, формируемому микрообъективом MO1 в
предметном плече интерферометра. Этот процесс можно проиллюстрировать при помощи схе-
мы на рис. 4а, из которой видно, что расстояние между изображениями элементарных источни-
ков dS
1
' и dS
2
' в фокальной плоскости микрообъектива MO2 увеличилось по сравнению с рас-
стоянием между элементарными источниками dS
1
и dS
2
.
В соответствии со схемой на рис. 3 это приводит к изменению угла
θ
, определяющего
период интерференционной картины. В результате в фокальной плоскости линзы L3 происхо-
дит наложение интерференционных картин, имеющих различный период и результирующая
а)
б)
Рис. 4. Два способа формирования полос конечной ширины в микроинтерферометре:
а – наклон зеркала в опорном плече интерферометра; dS
1
, dS
2
– два элементарных источника на поверх-
ности промежуточного источника S на расстоянии r друг от друга, dS
1
', dS
2
' – изображения элементар-
ных источников dS
1
, dS
2
, соответственно, даваемые микрообъективом MO2 при наклоне зеркала M в
опорном плече интерферометра, на расстоянии r
1
> r друг от друга;
б – смещение микрообъектива в опорном плече микроинтерферометра с оптической оси; S – промежу-
точное изображение источника, даваемое осветительной системой, S' - изображение вторичного источ-
ника, формируемое микрообъективом MO1 предметного плеча интерферометра, S'' – смещенное изо-
бражение вторичного источника, формируемое смещенным с оптической оси микрообъективом MO2
опорного плеча интерферометра, M – зеркало.
А - вид интерференционных полос конечной ширины,
наблюдаемых в обоих случаях на выходе микро-
интерферометра.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 54
- 55
- 56
- 57
- 58
- …
- следующая ›
- последняя »
