Оптическая низкокогерентная интерферометрия и томография. Кальянов А.Л - 57 стр.

UptoLike

Рубрика: 

57
интерференционная картина, наблюдаемая на выходе интерферометра, будет иметь вид, изо-
браженный на рис. 4а. Из него видно, что интерференционные полосы наблюдаются не во всем
поле зрения микроскопа, а лишь в центральной его части, при снижении контраста полос на пе-
риферии поля зрения.
Чтобы исключить проявление этого эффекта был предложен иной способ формирования
интерференционных полос конечной ширины, принцип которого проиллюстрирован на рис. 4б.
Предположим, что один из микрообъективов, например микрообъектив MO2 в опорном плече
интерферометра, смещен с оптической оси на величину
2r
, как показано на рис. 4б. Это при-
водит к тому, что изображение источника S'' в передней фокальной плоскости микрообъектива
MO2 смещается на величину
r
относительно изображения источника S', даваемого несмещен-
ным микрообъективом MO1 в предметном плече интерферометра. Это справедливо как для ис-
точников в целом, так и для элементарных источников, каждый из которых смещается относи-
тельно соответственного ему элементарного источника на одну и ту же величину
r
. В этом
случае, если используется квазимонохроматический источник излучения, интерференционные
полосы наблюдаются во всем поле зрения микроскопа.
Из рисунка 4б следует, что при смещении зеркала M вдоль оптической оси, например, на
величину
M
zΔ , изображение вторичного источника S'' не смещается, но колебания в точке S''
испытывают временную задержку czt
M
Δ
=
Δ 2 , связанную с дополнительной разностью хода
M
zΔ=Δ 2
. Это вызывает соответствующее смещение интерференционных полос в поле зрения
микроскопа. Смещение зеркала на величину 2
0
λ
вызовет смещение интерференционной кар-
тины на выходе интерферометра на одну целую полосу.
Если вместо зеркала в предметном плече интерферометра находится объект, имеющий
неровную поверхность, это вызовет локальное изменение разности хода интерферирующих по-
лей, в результате чего полосы сместятся не во всем поле зрения, а лишь в том месте, где есть
неровность поверхности. В этом месте возникнет локальное искривление полос, по виду кото-
рого можно судить о высоте, или глубине неровности.
Математическое описание процессов формирования интерференционной картины
в микроинтерферометре
Комплексная амплитуда поля отраженного объектом в плоскости наблюдения может
быть представлена в следующем виде: