Составители:
Рубрика:
58
()
(
)
()
yxi
c
yx
tUyxAyxtU
S
S
SS
,exp
,
,),,(
ϕ
Δ
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛
Δ
−= , (1)
где
()
yx
S
,
ϕ
Δ - фазовая задержка, вызванная рельефом поверхности и, следовательно, наличием
переменной разности хода
()
yx
S
,Δ ,
(
)
yxA
S
, - амплитуда волны, отраженной поверхностью
объекта, иными словами – это функция пространственных координат
x
и
y
, ответственная за
формирование микроскопического изображения объекта. Аналогично для комплексной ампли-
туды поля, отраженного опорным зеркалом, можно записать:
(
)
()
yxi
c
yx
tUAyxtU
R
R
RR
,exp
,
),,(
ϕ
Δ
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛
Δ
−= , (2)
где
()
yx
S
,
ϕ
Δ и
()
yx
S
,Δ - фазовая задержка и разность хода, обусловленные, во-первых, нали-
чием переменной разности хода, формируемой за счет смещения микрообъектива или наклона
зеркала в опорном плече интерферометра и, во-вторых, наличием некоторой начальной разно-
сти хода, которая может изменяться путем продольного смещения объекта относительно ин-
терферометра,
R
A . – амплитуда волны, отраженной опорным зеркалом, считается, что эта вели-
чина постоянна для любых
x
и
y
.
Для разности хода опорной и предметной волн могут быть записаны следующие уравне-
ния:
(
)
(
)
yxzyx
S
,2,
=
Δ
, (3)
(
)
RR
zxyx
Δ
+
=
Δ
2,
α
, (4)
где
()
yxz ,
- уравнение, описывающее поверхность объекта,
α
- угол между волновыми фрон-
тами интерферирующих волн,
R
zΔ2 - начальная разность хода в интерферометре.
Уравнение (4) составлено таким образом, что наклон волновых поверхностей есть только
в одном направлении, в данном случае, в направлении оси
x
, а значит и переменная разность
хода создается только вдоль этой одной оси. Это приводит к тому, что интерференционные по-
лосы в изображении будут ориентированы вдоль оси
y
. Чтобы реализовать возможность зада-
ния произвольного наклона интерференционных полос, необходимо в выражение (4) добавить
соответствующее слагаемое
y
β
, где
β
- угол между волновыми фронтами интерферирующих
волн по соответствующей оси. Соответствующие фазовые задержки предметной и опорной
волн связаны с разностью хода следующим образом:
() ()
yxyx
SS
,
2
,
0
Δ=Δ
λ
π
ϕ
, (5)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 56
- 57
- 58
- 59
- 60
- …
- следующая ›
- последняя »
