Определение толщины и пористости пленок и покрытий на различных подложках с использованием рентгеновского излучения. Кашкаров В.М - 1 стр.

UptoLike

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ
ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ И ПОРИСТОСТИ ПЛЕНОК И
ПОКРЫТИЙ НА РАЗЛИЧНЫХ ПОДЛОЖКАХ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ
РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Учебно- методическое пособие по специальности
«Микроэлектроника и полупроводниковые приборы» 014100 (010803)
ВОРОНЕЖ
2005
           Ф Е Д Е Р АЛ Ь Н О Е АГ Е Н Т С Т В О П О О Б Р АЗО В АН И Ю
       В О Р О Н Е Ж С К И Й Г О С У Д АР С Т В Е Н Н Ы Й У Н И В Е Р С И Т Е Т




       О П РЕ Д Е Л Е Н И Е Т О Л ЩИ Н Ы И П О РИ С ТО С Т И П Л Е Н О К И
П О К Р Ы Т И Й Н А Р АЗЛ И ЧН Ы Х П О Д Л О Ж К АХ С И С П О Л Ь ЗО В АН И Е М
                      Р Е Н Т Г Е Н О В С К О Г О И ЗЛ У ЧЕ Н И Я

              У ч ебно-м етодич ес к ое п ос обие п ос п ециальнос т и
   «М ик роэ лек т роник а и п олуп роводник овы е п риборы »014100 (010803)




                                    ВОРОНЕ Ж
                                      2005