Определение толщины и пористости пленок и покрытий на различных подложках с использованием рентгеновского излучения. Кашкаров В.М - 2 стр.

UptoLike

2
Утверждено научно- методическим советом физического факультета
(8 апреля 2005 г., протокол 8)
Составители: доц . Кашкаров В . М .
проф. Домашевская Э.П.
Учебно- методическое пособие подготовлено на кафедре физики твердого
тела физического факультета Воронежского государственного университета.
Рекомендуется для студентов III курса специальности 0141100 (010803)
«Микроэлектроника и полупроводниковые приборы» (дневное отделение)
                                          2




      У твержденонауч но-м етодич ес к им с овет ом физич ес к огофак ульт ета
                       (8 ап реля 2005 г., п рот ок ол № 8)




Сос тавит ели:                        доц. Кашк аров В.М .
                                     п роф. Дом ашевс к ая Э.П.




      У ч ебно-м ет одич ес к ое п ос обие п одготовлено на к афедре физик и т вердого
т ела физич ес к огофак ультета Воронежс к огогос ударс т венногоуниверс итета.
Рек ом ендуетс я для с тудентов III к урс а с п ециальнос т и 0141100 (010803) –
«М ик роэ лек троник а и п олуп роводник овы е п риборы »(дневное от деление)