Определение толщины и пористости пленок и покрытий на различных подложках с использованием рентгеновского излучения. Кашкаров В.М - 7 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

7
2. Получите у преподавателя пленку металла, напыленную на
поверхность кремния или арсенида галлия. Под микроскопом проверьте
целостность пленки, убедитесь в отсутствии на пленке сквозных проколов и
царапин.
3. Проведите измерение интенсивности характеристического излучения от
материала подложки и определите толщину металлического покрытия по
формуле (4). Если измерения интенсивности проводятся для материала
покрытия, произведите измерения интенсивности, а затем воспользуйтесь
градуировочным графиком .
Указание: для расчетов воспользуйтесь тем предположением , что плотность
материала пленки примерно на 15-20 % ниже плотности объемного
материала.
4. Оцените погрешности измерений толщины покрытия.
Контрольные вопросы
1. Как зависит интенсивность характеристического излучения от толщины
излучателя?
2. Что такое толщина насыщенного слоя ? Как рассчитать эту величину ?
3. Какова размерность массового коэффициента поглощения рентгеновского
излучения?
4. Почему оптические методы измерения толщины непригодны для
определения толщины металлических покрытий ?
5. Метод измерения толщины покрытия по поглощению излучения от
подложки.
6. Измерение толщины покрытия по величине сигнала от элемента, входящего
в состав покрытия.
7. От каких параметров зависит погрешность измерения толщины покрытия?
Литература
[1] Блохин М .А . Физика рентгеновских лучей / М .А . Блохин - М . ГИЗ технико-
теоретической литературы , 1958.- 455 с .
[2] Либхавски Х.А . Применение поглощения и пропускания рентгеновских
лучей / Х .А .Либхавски, Г.Г.Пфейфер, Э.Г.Уинслоу , П.Д.Земани – М :
«Металлургия», 1964.- Гл. 6, С. 158-172.
[3] Лосев Н.Ф . Количественный рентгеноспектральный флуоресцентный
анализ / Н.Ф . Лосев.- М .: «Наука», 1969.- 336 с . 
                                             7
2. Получ ит е у п реп одавателя п ленк у           м ет алла,       нап ы ленную          на
   п оверх нос т ь к рем ния или арс енида галлия. Под м ик рос к оп ом п роверьте
   целос т нос т ь п ленк и, убедит ес ь в отс утс твии на п ленк е с к возны х п рок олов и
   царап ин.
3. Проведит е изм ерение интенс ивнос ти х арак т ерис т ич ес к ого излуч ения от
   м ат ериала п одлож к и и оп ределите т олщ ину м ет аллич ес к ого п ок ры т ия п о
   форм уле (4). Е с ли изм ерения инт енс ивнос т и п роводят с я для м ат ериала
   п ок ры т ия, п роизведит е изм ерения инт енс ивнос т и, а зат ем вос п ользуй т ес ь
   градуировоч ны м график ом .
   У к азание: для рас ч ет ов вос п ользуй тес ь т ем п редп оложением , ч т о п лот нос т ь
   м ат ериала п ленк и п рим ерно на 15-20 % ниже п лот нос ти объем ного
   м ат ериала.
4. Оценит е п огрешнос ти изм ерений толщ ины п ок ры тия.

                                  К онтроль ныев опрос ы

1. Как завис ит интенс ивнос т ь х арак т ерис тич ес к ого излуч ения от толщ ины
   излуч ателя?
2. Чтот ак ое т олщ ина нас ы щ енногос лоя? Как рас с ч итат ь э т у велич ину?
3. Как ова разм ернос т ь м ас с ового к оэ ффициента п оглощ ения рентгеновс к ого
   излуч ения?
4. Поч ем у оп тич ес к ие м етоды изм ерения толщ ины неп ригодны для
   оп ределения т олщ ины м еталлич ес к их п ок ры тий ?
5. М ет од изм ерения т олщ ины п ок ры т ия п о п оглощ ению излуч ения от
   п одложк и.
6. И зм ерение толщ ины п ок ры т ия п о велич ине с игнала от э лем ента, вх одящ его
   в с ос т ав п ок ры т ия.
7. От к ак их п арам ет ров завис ит п огрешнос ть изм ерения т олщ ины п ок ры т ия?


                                      Л итература

[1] Б лох инМ .А . Ф изик а рент геновс к их луч ей / М .А . Б лох ин- М . ГИ З т ех ник о-
     т еорет ич ес к ой лит ерат уры , 1958.- 455 с .
[2] Л ибх авс к и Х .А . Прим енение п оглощ ения и п роп ус к ания рентгеновс к их
     луч ей / Х .А .Л ибх авс к и, Г.Г.Пфей фер, Э.Г.У инс лоу, П.Д.Зем ани – М :
     «М еталлургия», 1964.- Гл. 6, С. 158-172.
[3] Л ос ев Н.Ф .       Колич ес т венны й рентгенос п ек т ральны й флуорес цент ны й
     анализ/ Н.Ф . Л ос ев.- М .: «Наук а», 1969.- 336 с .

Страницы