Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 100 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

Спиральные, прямоугольные и круговые индукторы использу-
ются, в основном, как реактивные элементы в фильтрах, устройствах
связи, делителях, а также как согласующие элементы и пре-
образователи импеданса в монолитных ИС. Индукторы встраиваются в
монолитные ИС при помощи стандартных технологий, при этом вну-
тренние витки либо прикрепляются проволочными соединениями,
либо формируются методом перевернутых кристаллов. Иногда для
внутреннего соединения катушки с монолитной схемой вместо прово-
лочного крепления используют воздушные мостовые конструкции
[14].
Индуктивные элементы микросистем
В монолитных ИС используются два основных типа компонентов:
распределенные и сосредоточенные. Наиболее распространенными
распределенными элементами являются микрополосковые линии, ще-
левые линии и копланарные волноводы. Сосредоточенные элементы,
такие как С и L, не изменяют своих значений при изменении частоты,
и на протяжении всей длины элемента не происходит никакого сдвига
фаз. Планарные микроиндукторы и конденсаторы используются в мо-
нолитных ИС в качестве пассивных элементов. Как правило, такие
элементы обладают низкими потерями и широкой полосой частот до
12 ГГц. Для планарных индукторов серьезной проблемой является на-
личие паразитной емкости между индуктором и слоем заземления. На-
личие паразитной емкости приводит к снижению добротности индук-
торов и резонансной частоты, что ограничивает максимальную рабо-
чую частоту и делает устройство непригодным для использования в
современных системах связи. Попытки создать на кремниевой подлож-
ке спиральный индуктор с большой индуктивностью в начале шести-
десятых годов двадцатого века не увенчались успехом, поскольку па-
разитные емкости в полученных структурах приводили к сильному
снижению резонансной частоты, и их невозможно было использовать
в ВЧ-устройствах связи. Большие паразитные емкости планарных гре-
бенчатых конденсаторов, величина которых напрямую зависит от ис-
пользуемого метода изготовления, также привели к тому, что такие
конденсаторы не работали как сосредоточенные элементы. Однако
позднее были созданы индукторы на основе высокорезистивной крем-
100

Страницы