ВУЗ:
Составители:
ниевой подложки (3000...7000 Ом*см), величина добротности которых
в ненагруженном состоянии стала сравнима с добротностью индуктив-
ных элементов на кварцевой и GaAs-подложках. Также было показано,
что технология кремний-на-сапфире (SoS) позволяет создавать индук-
торы с высокой частотой резонанса и хорошей добротностью [14].
Индукторы из меандров
Процесс изготовления таких индукторов несложен. Однако из-за
отрицательных значений взаимной индуктивности между некоторыми
витками они имеют низкую величину индуктивности, что является их
недостатком. Одна из самых больших проблем при построении маг-
нитных приводов – изготовление трехмерных (3D) катушек индук-
тивности соленоидного типа на основе планарных технологий. Для ее
решения были разработаны следующие гибридные технологии, при
которых [14]:
– в планарную катушку помещается конструкция из магнитных
материалов,
– внешнее магнитное поле воздействует на встроенные движу-
щиеся части, изготовленные из материала с высоким коэффициентом
магнитной проницаемости,
– методом сухого травления изготавливается тонкопленочный
индуктор из меандров с шагом 7 мкм.
Для построения традиционного индуктивного элемента со-
леноидного типа вокруг магнитного сердечника наматывается провод
(рис. 65, б).
Для реализации такого принципа в микроприводе в структуру 3D
сердечника из магнитного материала, имеющего форму меандров,
вплетается плоский элемент, также состоящий из меандров, из токо-
проводящего материала (металла) с низким сопротивлением. На рис.
65,а показан микропривод такого типа, изготовленный с исполь-
зованием методов поверхностных технологий. Индуктор в этой конст-
рукции, состояший из 26 витков размерами 0.9 х 4 мм, обладает индук-
тивностью 0.2мкГн на частоте 100 кГц. Поскольку здесь применяется
относительно короткий и плоский проводник, общее сопротивление
катушки индуктивности будет невелико. Такая многоуровневая техно-
логия изготовления микроприводов позволяет формировать устрой-
101
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 99
- 100
- 101
- 102
- 103
- …
- следующая ›
- последняя »
