ВУЗ:
Составители:
9. Интегральные микрозеркала ............................................................................. 74
Контрольные вопросы ............................................................................................ 85
10. Интегральные микродвигатели ....................................................................... 85
Электростатические воздушные планарные микродвигатели ............................ 87
Электростатические диэлектрические планарные
микродвигатели ....................................................................................................... 90
Пьезоэлектрический микродвигатель ................................................................... 93
Контрольные вопросы ............................................................................................ 94
11. КАТУШКИ ИНДУКТИВНОСТИ В МИКРОСИСТЕМАХ. ЧАСТЬ 1 ........ 95
Пассивные компоненты микросистем: достоинства и недостатки .................... 96
Индукторы в микросистемах ................................................................................. 97
Собственная индуктивность и взаимная индуктивность .................................... 98
Индуктивные элементы микросистем ................................................................ 103
Индукторы из меандров ....................................................................................... 104
Контрольные вопросы .......................................................................................... 107
12. КАТУШКИ ИНДУКТИВНОСТИ В МИКРОСИСТЕМАХ. ЧАСТЬ 2 ...... 107
Спиральные индукторы ........................................................................................ 107
Соленоидные индукторы ..................................................................................... 110
Контрольные вопросы .......................................................................................... 115
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ..................................................................................................... 117
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ................................................................. 117
117
