ВУЗ:
Составители:
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ ............................................................................................................... 3
1. ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ И ТЕРМИНЫ ............................................................ 4
Контрольные вопросы ............................................................................................ 10
2. ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОСИСТЕМ ........................... 10
Термины, определения и буквенные обозначения параметров
и характеристик МСТ ............................................................................................. 12
Классификация сенсорных компонентов МСТ .................................................... 16
Контрольные вопросы ............................................................................................ 18
3. ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ МИКРОСИСТЕМ ........................ 18
Пьезорезистивные чувствительные элементы ..................................................... 18
Емкостные чувствительные элементы .................................................................. 20
Пьезоэлектрические чувствительные элементы .................................................. 20
Резонансные чувствительные элементы ............................................................... 21
Чувствительные элементы на
поверхностных акустических волнах (ПАВ) ....................................................... 22
Контрольные вопросы ............................................................................................ 24
4. СЕНСОРНЫЕ КОМПОНЕНТЫ МСТ.
ЧАСТЬ 1. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ .............................................. 24
Контрольные вопросы ............................................................................................ 31
5. Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2 ............................................................. 32
Сенсоры температуры на основе термопар .......................................................... 32
Сенсоры магнитного поля ...................................................................................... 36
Контрольные вопросы ............................................................................................ 41
6. Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3.
Сенсоры угловых скоростей .................................................................................. 41
Волоконно-оптические гироскоп .......................................................................... 42
Микромеханические сенсоры угловых скоростей ............................................... 44
Контрольные вопросы ............................................................................................ 53
7. Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4.
Сенсоры линейных ускорений ............................................................................... 53
Микромеханические акселерометры L-типа ........................................................ 55
Микромеханические акселерометры R-типа ....................................................... 56
Акселерометры с нагреваемой пластиной ........................................................... 58
Акселерометры с нагреваемым газом ................................................................... 59
Контрольные вопросы ............................................................................................ 60
8. Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи .......................... 61
Интегральные микромеханические ключи ........................................................... 67
Контрольные вопросы ............................................................................................ 74
116
